[发明专利]折梁屈曲射频微开关

权利要求书

1.一种折梁屈曲射频微开关，包括：调节电极对(31，32)、固定机座(33)、驱动电极对(34，35)和外构架(39)，其特征在于：固定机座(33)与外构架(39)的两端设有导向机构(37)，用于限制微梁的左右摆动；外构架(39)的内壁上固结有微梁(36)和折梁(38)，该微梁(36)和折梁(38)为一体结构，且折梁(38)位于微梁(36)的两端；调节电极对(31，32)采用梳齿状结构，固定在微梁(36)上，且上下对称。

2.根据权利要求2所述的射频微开关，其特征在于折梁(38)采用多个矩形弯曲结构，以减小折梁的刚度。

3.根据权利要求2所述的射频微开关，其特征在于微梁(36)采用纵横弯曲屈曲变形结构，以实现低压大变形驱动。

4.根据权利要求1所述的射频微开关，其特征在于；微梁(36)和折梁(38)的轴向总长度L’与外构架(39)的内壁长度L之比为101∶100，以使微梁(36)和折梁(38)通过压焊固结在外构架(39)内壁，获得轴向挤压力。

5.根据权利要求1所述的射频微开关，其特征在于微梁(36)的左侧和固定机座(33)的右侧表面均淀积有金膜层，两金膜层形成驱动电极(34，35)，该驱动电极通过压焊方式与外部驱动电路相连。

6.根据权利要求1所述的射频微开关，其特征在于固定机座(33)、外构架(39)、微梁(36)和折梁(38)均为硅材料。

7.根据权利要求1所述的射频微开关，其特征在于调节电极对(31，32)通过压焊方式与外部调节电路相连，且同步控制，保证微梁(36)维持“微弯平衡”状态。