[发明专利]一种消除轻质反射镜压印效应的抛光装置

权利要求书

1.一种消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，由浸入式密封抛光平台与精密充气装置组成，其特征在于：所述浸入式密封抛光平台由密封缸(8)、顶盖(2)、三角形支撑座(4)、钢球(5)、弧形夹具(3)和弹性密封圈(1)构成；三个三角形支撑座(4)置于密封缸(8)内腔底面的三个钢球(5)上，并在每个三角形支撑座(4)上表面粘接三个垫片(6)；顶盖(2)通过螺栓固定于密封缸(8)上，弹性密封圈(1)的充气嘴(21)穿过顶盖侧面通孔(18)，并置于顶盖(2)与轻质反射镜(7)间；螺栓(24)穿过密封缸侧面螺纹孔(23)与弧形夹具(3)相连，通过调节螺栓(24)移动弧形夹具(3)，使弧形夹具(3)对轻质反射镜(7)进行切向约束；所述的精密充气装置由微型气泵(9)、直流电源(10)、精密截止阀(14)、精密泄压阀(11)、膜合气压表(12)、四通体(13)和硅胶管(15)组成；直流电源(10)与微型气泵(9)相连接，微型气泵(9)通过硅胶管(15)与精密截止阀(14)相连，四通体(13)四个端口分别与精密截止阀(14)、精密泄压阀(11)、膜合气压表(12)和密封缸(8)相连。

2.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述密封缸(8)结构为U型，顶面及侧面分别钻螺纹孔(22、23)，并在内腔底面刨半圆凹槽(20)。

3.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述三角形支撑座(4)为等腰三角形，顶角为108°，三角形支撑座(4)底侧重心处开半圆凹槽，上侧粘接垫片(6)。

4.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述顶盖(2)为台阶形，并在顶盖(2)上侧开沉孔(17)，侧面开有通孔(18)。

5.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述弹性密封圈(1)为易膨胀的弹性材料，弹性模量小于1.3*10°Pa，并且弹性密封圈(1)带有充气嘴(21)。

6.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述精密截止阀(14)能任意调节充入气体的流量，调节量程为0～5L/min，气体流量的定位精度为1mL/min。

7.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述精密泄压阀(11)能对充入过大的气压进行适量减排，泄压流量控制精度达0.3mL/min。

8.根据权利要求1所述的消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，其特征在于：所述直流电源(10)采用蓄电池。