[发明专利]一种镀膜石墨框的超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201110076259.0 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102211097A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 姚伟忠 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 石墨 超声波 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜石墨框的超声波清洗装置，其特征是：包括清洗槽(1)、超声波振子安装框(2)、超声波发生器(3)、摆动承载框(4)、支承轴(5)、伞状齿轮(6)、主动齿轮(7)、伺服电机(8)和电控部件(9)，超声波发生器(3)设置在超声波振子安装框(2)内，超声波振子安装框(2)设置在清洗槽(1)的底部，摆动承载框(4)通过支承轴(5)安装在清洗槽(1)内，支承轴(5)一端伸出清洗槽(1)外，在支承轴(5)的伸出端装有伞状齿轮(6)，主动齿轮(7)安装在伺服电机(8)的输出轴上，主动齿轮(7)与伞状齿轮(6)相啮合，超声波发生器(3)和伺服电机(8)均与电控部件(9)电连接，超声波发生器(3)和伺服电机(8)由电控部件(9)控制，电控部件(9)控制伺服电机(8)进行正反交潜转动，通过主动齿轮(7)和伞状齿轮(6)带动摆动承载框(4)往复摆动。
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