[发明专利]水晶基板的蚀刻方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟无效
| 申请号： | 201110076944.3 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102299255A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 船曳阳一;荒武洁 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H03H9/02;H03H9/215;G04G9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王忠忠 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水晶 蚀刻 方法 压电 振动 振动器 振荡器 电子设备 电波 | ||
【权利要求书】：
1.一种水晶基板的蚀刻方法，其特征在于：
在所述水晶基板的第一面接合具有与所述水晶基板大致相同的蚀刻速度的辅助基板的状态下，
从所述水晶基板的第二面侧起对所述水晶基板及所述辅助基板连续地进行干蚀刻。
2.如权利要求1所述的水晶基板的蚀刻方法，其特征在于，所述辅助基板由以氧化硅为主要成分的材料形成。
3.如权利要求1或2所述的水晶基板的蚀刻方法，其特征在于，所述水晶基板和所述辅助基板通过阳极接合膜来阳极接合。
4.如权利要求1或2所述的水晶基板的蚀刻方法，其特征在于，所述水晶基板和所述辅助基板被氢接合。
5.如权利要求1或2所述的水晶基板的蚀刻方法，其特征在于，所述水晶基板和所述辅助基板被常温接合。
6.一种压电振动片，其特征在于：利用权利要求3至5中任一项所述的水晶基板的蚀刻方法来形成压电振动片的外形。
7.一种压电振动器，其特征在于：具备权利要求6所述的压电振动片。
8.一种振荡器，其特征在于：使权利要求7所述的压电振动器，作为振子电连接至集成电路。
9.一种电子设备，其特征在于：使权利要求7所述的压电振动器电连接至计时部。
10.一种电波钟，其特征在于：使权利要求7所述的压电振动器电连接至滤波部。
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