[发明专利]悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器

权利要求书

1.一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，其特征在于：该传感器以硅衬底（101）为基底，在硅衬底（101）上设有以介质层（1021）作为结构层的悬臂梁结构（107），悬臂梁结构（107）的根部并排设有第一压电单元（1061）和第二压电单元（1062），压电单元包括压电层（104）、设在压电层（104）上下的上电极（1032）和下电极（1031），下电极（1031）设在介质层（1021）上，介质层（1021）、压电层（104）和下电极（1031）上覆盖有隔离介质层（1022），上电极（1032）设在压电层（104）上部的隔离介质层（1022）上，介质层（1021）悬臂梁一侧的隔离介质层（1022）上设有瓦斯敏感层（105），介质层（1021）悬臂梁后部的隔离介质层（1022）旁设有连接下电极（1031）的下电极引线（10311）和连接上电极（1032）的上电极引线（10322）。

2.根据权利要求1所述的悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，其特征在于瓦斯敏感层（105）为穴番-A或穴番-E超分子化合物。

3.根据权利要求1所述的悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，其特征在于介质层（1021）为氧化硅或氮化硅或氧化硅及氮化硅复合层；隔离介质层（1022）为氧化硅。