[发明专利]可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统

权利要求书

1.一种可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，包括探针测试平台，所述探针测试平台包括待测芯片（1）、内置放射源（3）的铅容器（4）和观测待测芯片变化的显微镜（2），其特征在于所述系统还包括辐射防护暗箱（5），所述探针测试平台设置在辐射防护暗箱（5）内，所述铅容器上端开口，待测芯片（1）放置在铅容器开口上，所述待测芯片（1）上端设置探针座（8）；所述铅容器下端设置调节待测芯片（1）的空间位置的空间位置调节装置。

2.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于所述显微镜通过电子目镜（6）连接到计算机；所述显微镜观测到芯片图像后通过电子目镜（6）显示输出到计算机。

3.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于所述空间位置调节装置包括三个操纵杆（7），所述操纵杆贯穿辐射防护暗箱（5）调节芯片的空间位置和辐射θ角；所述辐射防护暗箱（5）设置与操纵杆（7）操作行程匹配的滑槽。

4.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于所述铅容器（4）和探针座（8）均与I-V曲线测试仪和C-V曲线测试仪连接输出给计算机进行数据处理。

5.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于所述铅容器包括上盖（41）、两端开口的罩筒（42）和设置在罩筒下端支撑放射源的支撑座（43），所述放射源设置在罩筒（42）内，所述支撑座与罩筒孔轴配合隔离罩筒下端开口；所述上盖设置在罩筒上端隔离罩筒上端开口。

6.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于所述探针测试平台还包括钢支架（9），所述钢支架（9）上端设置探针座（8）和空间位置调节装置；所述探针座（8）设置在空间位置调节装置上端。

7.根据权利要求1所述的可用于X射线、γ射线辐射实验的多功能探针台测试系统，其特征在于辐射防护暗箱（5）为设置有辐射防护涂层的箱体，箱体内设置探针测试平台。