[发明专利]探针针压监测方法

说明书

技术领域

本发明与点测装置(prober)的探针针压(probing force)监测方法有关，特别是指一种用于搭载有寻边器(edge sensor)的点测装置的探针针压监测方法。

背景技术

点测装置(prober)为一种利用探针(probe)来检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。在点测作业进行时，假使探针针压(probing force)过大，可能会造成晶粒表面损伤，也容易造成探针磨损，而一旦针压过小，可能造成探针与晶粒接点接触不良，进而影响点测结果，因此，探针针压的设定、监测与调整，一直都是点测作业进行时需格外注意的事项。

利用搭载于点测装置中的寻边器(edge sensor)，可达到确保探针能确实接触并在待测晶粒的接点施加一定压抵力量的目的。进一步而言，现有的寻边器主要包含有一架体、一与该架体弹性连接并可相对该架体摆动的摆臂，以及一可调预力施加器，其中，探针固定在该摆臂上，且该可调预力施加器用于施加一作用于该架体与该摆臂之间的预力，使该探针在未受力的状态下，两个分别设于该架体与该摆臂上的电性接点可以保持接触而电性导通，而一旦探针接触并持续进给压抵待测晶粒的接点至前述预力被克服的程度时，该摆臂将相对该架体摆动使该二电性接点分离造成断路，因此，利用该可调预力施加器提供特定的预力，并在侦测到前述二电性接点断开时的关键点停止探针进给，即可确保探针在点测作业时已经确实接触并将一特定压抵力量施加在待测晶粒的接点上。由于寻边器的结构特征以及作动原理属本技术领域中具有通常知识的人士所熟知的习用技术，而且在诸如中国台湾第M345241、M382589等新型的说明书中已详细揭示了各式各样的寻边器，因此申请人在此不予以赘述。

前述可调预力施加器通常以磁性吸力、斥力或者弹簧回复力来施加上述预力，而且探针本身具有一定的弹性，因此探针在点测作业实际使用一段时间之后，可能会因为诸如预力施加器设定偏移或探针弹性疲乏等因素，发生探针实际使用时的针压或多或少偏离原先设定值的情形，进而影响测量结果，甚至造成晶粒接点的损伤。为了避免前述情形发生，现行的作法是在探针使用一段时间后，将固定有探针的寻边器从点测装置中拆下，并将寻边器架设于治具上之后，使用电子磅秤来测量寻边器的二电性接点跳脱时的探针受力(即探针实际进行点测作业时的针压)，此时若发现探针针压偏离设定值，则重新调整预力施加器所施加的预力，并反复检测，直到探针针压回复到设定值的容许范围内，而后，必须将寻边器从治具上拆下并重新组装回点测装置，探针才能继续使用。由上述可知，现行探针针压的监测与调整作业可以说是十分耗时与不便，而且，寻边器拆拆装装无疑也增加了机构损害的风险。

现行的另一种探针针压的监测方法，是用勾表直接对固定在点测装置中的探针进行测量，此举虽可省去拆装寻边器的作业，然而，勾表一般来说不易使用，而且测量的结果往往会因为不同操作人员操作勾表的技术纯熟度不同而有所差异，即人为操作误差对测量结果的影响很大。

总之，上述两种现有监测探针针压的方法，有耗时、作业不便、存在较大的人为操作误差等缺点而有待改进。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针针压监测方法，该方法不必将装设探针的寻边器从点测装置上拆卸下来再进行针压监测，可以迅速、方便的作业。

本发明的另一目的在于提供一种探针针压监测方法，可直接利用点测装置现有设备进行探针针压监测，以减少人为误差。