[发明专利]多晶硅行业废气液焚烧处理后回收二氧化硅的装置及方法

权利要求书

1.一种多晶硅行业废气废液焚烧处理后回收二氧化硅的装置，其特征是：将烟气输送管与两台并联的金属滤芯式过滤器（1）的烟气入口端相接，金属滤芯式过滤器（1）的粉体出口端安装有卸料阀（16），卸料阀（16）通过管道接负压输送管道（17）的中段，负压输送管道（17）的进口端设有进风过滤器（18），负压输送管道（17）的出口端与粉体收集器（12）的粉体入口端相接，粉体收集器（12）的粉体出口端与脱气器（13）的入口端相接，脱气器（13）的出口端与密封包装机（15）的入口端相接，在粉体收集器（13）上连接有罗茨风机（14）；将反吹气体储气包（6）的出口端通过管道与两台并联连接的金属滤芯式过滤器（1）的反吹气体入口端相接，反吹气体储气包（6）外具有储气包伴热系统（19）；所述的金属滤芯式过滤器（1）内通过隔板将其内部空间分成上下两个独立的腔室，在隔板上安装高温气体过滤滤芯（4），在隔板上方的金属滤芯式过滤器（1）上连接有烟气外排管道，在烟气外排管道上设有烟气出口控制阀门（8），烟气外排管道伸入水池内；在隔板下方的金属滤芯式过滤器（1）外安装有过滤器伴热系统（2），在金属滤芯式过滤器（1）上安装有差压变送器（5），差压变送器（5）的两个感应头分别位于隔板上下方的空间内。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是：所述的高温气体过滤滤芯（4）为金属烧结纤维毡滤芯、金属粉末烧结滤芯或者陶瓷滤芯。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征是：所述的高温气体过滤滤芯（4）采用倒圆锥结构。

4.如权利要求1所述的装置，其特征是：在隔板下方的金属滤芯式过滤器（1）上安装有安全气体置换管道，在安全气体置换管道上安装有安全气体置换阀门（11）；在隔板上方的金属滤芯式过滤器（1）上安装有排气阀（10），排气阀（10）通过管道接入废气排放管道（9），反吹气体储气包（6）的废气出口并联接入废气排放管道（9）。

5.利用权利要求1~5之一所述装置在多晶硅行业废气废液焚烧处理后回收二氧化硅的方法，其特征是，所述方法包括如下步骤：

打开烟气输送管上的烟气入口控制阀门（3），使得高温烟气进入金属滤芯式过滤器（1）内，如果进入金属滤芯式过滤器（1）的烟气温度低于160℃，则启动过滤器伴热系统（2），使得烟气被加热至160~250℃，粉料被高温气体过滤滤芯（4）阻挡，启动罗茨风机（14）、脱气器（13）与密封包装机（15），粉料经负压输送至粉体收集器（12），粉体收集器（12）收集的粉体进入脱气器（13）内脱气，脱气后的粉料经密封包装机（15）包装成二氧化硅粉体成品袋；

当过滤器工作一段时间后，系统压差达到初始设定值，启动反吹气体储气包（6）与反吹阀门（7），通过金属滤芯式过滤器（1）内安装的反吹气体管对高温气体过滤滤芯（4）进行由内向外的反吹，如果进入金属滤芯式过滤器（1）的反吹气体温度低于160℃，则启动储气包伴热系统（19），使得反吹气体被加热至160~250℃；

反吹结束后，高温气体过滤滤芯（4）即被反吹清洗，这台过滤器离线备用，待另一台过滤器开始反吹清洗时，这台过滤器开始进入过滤状态，如此反复连续工作。