[发明专利]自动蚀刻减薄装置有效
申请号: | 201110081582.7 | 申请日: | 2011-03-31 |
公开(公告)号: | CN102108009A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 蔡良照;郑志智;何基强 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 曹志霞;李赞坚 |
地址: | 516600 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 蚀刻 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种对玻璃基板进行蚀刻减薄的设备,尤其涉及一种自动蚀刻减薄装置。
背景技术
现在的显示器正致力于向更轻、更薄的方向发展。这些显示器包括平板显示器(简称FPD),其中,FPD包括电致发光显示器(ELD)、液晶显示器(LCD)和等离子显示器(PDP)。玻璃基板是FPD中的重要部件,其重量与厚度直接决定着显示器的重量与厚度。
为了减小玻璃基板的厚度,使其达到预定的厚度,一般工艺是将玻璃基板浸入蚀刻液中进行蚀刻,再经过抛光等工艺达到减薄的效果。而传统的、用于对玻璃基板进行蚀刻的减薄设备,一般包括入料口、蚀刻池、检测处、出料口。其中,入料口用于将待减薄的玻璃基板送入蚀刻池;蚀刻池中置有蚀刻液,用于对玻璃基板进行蚀刻和清洗;检测处用于在蚀刻过程中对玻璃基板的厚度进行检测;出料口则是将蚀刻完成的玻璃进行清洗、烘干并送出的设备。
在传统的减薄设备及方法中,无论是入料、检测、还是出料,都需要技术人员现场操作,且一般经过入料、检测后,如果厚度未达标,需要再入料、再检测这样的循环操作,费时费力,生产效率不高。由于蚀刻中用到的蚀刻液是一种具有强腐蚀性的酸性溶液,对生产环境和操作员具有一定的危害,所以传统的减薄设备及方法不利于环境保护及操作人员的身体健康。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷,提供一种自动蚀刻减薄装置,能够对玻璃基板进行自动减薄处理,减少人工操作。
本发明提供的一种自动蚀刻减薄装置,包括:
减薄处理器,具有自动入料分配台、蚀刻机、自动出料台,所述蚀刻机具有至少一个减薄处理位,所述自动入料分配台将物料自动输送至设定的减薄处理位,所述减薄处理位对物料进行减薄处理,所述自动出料台将经过减薄处理的物料输送至出料位;
检测台,支撑并输送经减薄处理器处理的物料;
后处理器,包括入料输送台、处理机、出料输送台,对检测台输送来的物料进行清洗、喷淋、烘干处理。
优选地,还包括吊车、提手、吊篮以及控制器,所述吊车与提手连接,所述控制器设有吊车控制单元,控制所述吊车抓取并移动吊篮。
优选地,所述蚀刻机具有至少两个减薄处理位,每一减薄处理位依次包括一次清洗单元、蚀刻单元、二次清洗单元、喷淋单元。
优选地,所述自动入料分配台设有自动输送台、自动入料门,所述自动出料台设有自动输送台以及自动出料门。
优选地,所述处理机包括依次设置的碱洗单元、喷淋单元、水洗单元、慢提单元、烘干单元。
优选地,所述碱洗单元包括一次碱洗单元、二次碱洗单元,所述水洗单元包括一次水洗单元、二次水洗单元。
优选地,所述控制器还包括减薄处理控制单元,控制自动入料分配台以及自动出料台沿水平方向的移动以及自动入料门、自动出料门的开合。
优选地,所述自动入料门、自动出料门分别设有红外感应器,所述红外感应器与所述减薄处理控制单元电性连接。
优选地,所述控制器还包括后处理控制单元,控制入料运输台中的进料门的开合、出料运输台的出料门的开合。
优选地,所述控制器还包括返蚀刻控制单元,按照设定的指令将物料从检测台经由自动出料台送至蚀刻机中重新进行减薄处理。
与现有技术相比,本发明的自动蚀刻减薄装置由于设置减薄处理器、检测台、后处理器,通过减薄处理器的自动入料分配台、蚀刻机、自动出料台,对物料进行减薄处理,而后送至检测台等待检测,经检测到达预定厚度的,则送入后处理器,如没有达到预定厚度,则从自动出料台进入蚀刻机中返减薄处理;后处理器通过其设置的入料运输台、处理机、出料运输台,对检测台输送来的物料进行清洗、喷淋、烘干处理。由于自动入料分配台、自动出料台、检测台、入料运输台、出料运输台的设置,整个处理过程中,操作人员只需检测检测台上的经减薄处理的物料是否达到预定厚度即可,因而,利用本发明的自动蚀刻减薄装置能够极大程度地减少操作人员直接操作,在蚀刻过程减少操作人员搬运的动作,降低操作人员的劳动强度,而且减少了蚀刻液对操作人员的身体健康的危害。
附图说明
图1为本发明自动蚀刻减薄装置一优选实施例的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案、效果更加清楚,下面结合附图和一优选实施例对本发明的自动蚀刻减薄装置进一步描述。
参见图1,本发明的自动蚀刻减薄装置包括:
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