[发明专利]大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，包括：

提供硬性基板；

在所述硬性基板表面形成应力引导释放结构；

在所述硬性基板表面粘贴脱离保护膜；

对所述脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理；

在所述脱离保护膜表面形成透明导电前电极；

在所述前电极表面沉积薄膜太阳能电池各层系并使其具有内级联结构；

在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成封装层；

将所述脱离保护膜、薄膜太阳能电池各层系和封装层整体与所述硬性基板分离。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述夹持式加热稳定处理的步骤在形成透明导电前电极之后进行。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于：所述执行夹持式加热稳定处理的步骤包括：

在所述透明导电前电极表面施加使脱离保护膜在加热过程中不致鼓起的夹持板；

进行加热处理。

4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。

5.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板为另一块夹持表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜、且脱离保护膜表面具有透明导电前电极的硬性基板。

6.根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于：所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或

在夹持板的夹持面与透明导电前电极表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。

7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述夹持式加热稳定处理的步骤包括：

在所述脱离保护膜表面施加使脱离保护膜在加热过程不致鼓起的夹持板；

进行加热处理。

8.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板的材料为石英、玻璃或石墨。

9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于：所述夹持板为另一块下表面具有所述应力引导释放结构、且粘贴有脱离保护膜的硬性基板。

10.根据权利要求8或9所述的制造方法，其特征在于：所述方法还包括在夹持板的夹持面形成防粘层，和/或

在夹持板的夹持面与脱离保护膜表面之间铺设耐温防粘材料的步骤。

11.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述应力引导释放结构包括由多个凹槽和/或凸棱组成的表面结构，且所述表面结构包含多个为形成内级联结构的激光划线而提供的条状且相互平行的平坦区域，且所述平坦区域与脱离保护膜在夹持式加热稳定处理后紧密贴合。

12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于：所述表面结构的形成方法包括辊压、机械刻划、掩模湿法刻蚀或丝网印刷。

13.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于：所述表面结构的凹槽之间或凸棱之间的间距为3～30mm。

14.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述应力引导释放结构为由复数个通孔或盲孔组成的孔阵列。

15.根据权利要求14所述的制造方法，其特征在于：所述复数个盲孔之间具有与形成内级联结构的条状平坦区域不相交的通道。

16.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述脱离保护膜的材料为透明、柔性、耐温、热膨胀系数较低且抗拉的塑料薄膜。

17.根据权利要求16所述的制造方法，其特征在于：所述脱离保护膜优选的厚度为6～50μm。

18.根据权利要求17所述的制造方法，其特征在于：所述塑料薄膜包括聚酰亚胺、聚醚酰亚胺PEI、聚醚醚酮树脂PEEK、聚萘二甲酸乙二醇酯PEN、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET或聚氟乙烯ETFE。

19.根据权利要求3或7所述的制造方法，其特征在于：所述加热稳定处理的温度高于沉积薄膜太阳能电池各层系时的基板最高温度。

20.根据权利要求19所述的制造方法，其特征在于：所述最高温度包括180℃～220℃的范围。