[发明专利]执行装置和机械手

权利要求书

1.一种执行装置，其特征在于，包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。

2.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，还包括第一部件和第二部件，所述第一部件设置于所述第二部件上；

所述第二部件上设置有气路通道和抽气口，所述气路通道连通所述抽气口，所述第一部件上设置有第一吸附通孔，且所述第一吸附通孔、气路通道和抽气口形成抽气通道；

所述第一部件上设置有第一凹槽，所述第一凹槽围绕所述第一吸附通孔设置，所述第一封闭部件与所述第一凹槽形状相匹配地设置于所述第一凹槽内，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件，且所述第一封闭部件用于在对所述抽气通道抽真空的过程中，密封接触被吸附晶片以使所述第一凹槽与所述被吸附晶片之间形成真空空间。

3.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件的底面粘接于所述第一凹槽的底面。

4.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述气路通道为设置于所述第二部件上的凹槽。

5.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述气路通道为设置于所述第二部件内部的通道。

6.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一凹槽为环状凹槽，且所述第一封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

7.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件的材料为橡胶。

8.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一吸附通孔的数量为一个或者多个。

9.根据权利要求8所述的执行装置，其特征在于，多个所述第一吸附通孔在所述第一凹槽所围绕的范围内均匀分布。

10.根据权利要求1至9任一所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件的高度差小于或者等于0.5mm。

11.根据权利要求1至9任一所述的执行装置，其特征在于，所述第一部件上还设置有第二凹槽，且所述第二凹槽位于所述第一凹槽所围绕的范围内，所述第二凹槽中设置有与所述第二凹槽形状相匹配的第二封闭部件，所述第二封闭部件凸出于所述第一部件。

12.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第一部件上还设置有第二吸附通孔，且所述第二吸附通孔和所述抽气通道连通，所述第二吸附通孔位于所述第二凹槽所围绕的范围内。

13.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的顶面平行于所述第一封闭部件的顶面。

14.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的底面粘接于所述第二凹槽的底面。

15.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的材料为橡胶。

16.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二凹槽为环状凹槽，且所述第二封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

17.一种机械手，包括：手臂、执行装置和驱动装置，所述执行装置固定于所述手臂上，所述驱动装置用于驱动所述手臂运动，其特征在于，所述执行装置采用权利要求1至16任一所述的执行装置。