[发明专利]手套箱装置及工件传输的方法在审
申请号: | 201110084290.9 | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN102185120A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 杨明生;王银果;刘惠森;范继良;王曼媛 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 手套 装置 工件 传输 方法 | ||
1.一种手套箱装置,所述手套箱装置包括密封的呈中空结构的密封箱,所述密封箱与外界充气装置及抽气装置连通,所述密封箱上开设有手套口,所述手套口上密封连接有密封手套,其特征在于:所述密封箱内隔离形成一密封的呈中空结构的过渡箱,所述过渡箱上开设有第一过渡口及第二过渡口,所述第一过渡口与外界连通,所述第二过渡口与所述手套箱内部连通,所述第一过渡口、过渡箱及第二过渡口形成一条由外界通往所述手套箱内部的送件通道,对应所述第一过渡口及第二过渡口设有密封用的第一仓门及第二仓门,所述第一仓门设在所述手套箱的外部,所述第二仓门设在所述手套箱的内部,所述过渡箱上还开设有充气口和抽气口,所述充气口与所述充气装置连通,所述抽气口与所述抽气装置连通。
2.如权利要求1所述的手套箱装置,其特征在于:还包括有密封圈,所述第一仓门及第二仓门上均设置有所述密封圈,所述第一仓门及第二仓门通过所述密封圈与所述第一过渡口及第二过渡口密封配合。
3.如权利要求1所述的手套箱装置,其特征在于:还包括有拉手,所述第一仓门及第二仓门上均设置有所述拉手。
4.一种使用如权利要求1-3任一项所述的手套箱装置传输工件的方法,所述密封箱内已充有与外界大气压强相同压强的氮气,且关闭所述第一仓门及第二仓门,其特征在于:所述传输工件的方法,包括如下步骤:
(1)打开所述第一仓门将工件放置入所述过渡箱内,并关闭所述第一仓门;
(2)开启所述抽气装置通过所述抽气口将所述过渡箱抽至抽真空状态;
(3)关闭所述抽气装置,开启所述充气装置并通过充气口往所述过渡箱内充入氮气,当过渡箱内氮气的压强与密封箱内氮气压强相等时停止充气;
(4)将密封手套戴于手上并伸入所述密封箱内打开所述第二仓门,将放置于过渡箱内的工件取出放入密封箱内;
(5)关闭所述第二仓门;
(6)如果还需传输工件至密封箱内,则重复执行上述步骤(1)-(5)。
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