[发明专利]一种微流控芯片的微沟道加工设备

权利要求书

1.一种微流控芯片的微沟道加工设备，包括：支架(1)、划刻深度控制标尺(2)、温度控制器(3)、加热器(4)、微尺寸刀具(5)、微尺寸刀具数控运动机构(6)、多自由度的数控载物台(7)和摇臂(8)，其特征在于，所述支架(1)的下端与多自由度的数控载物台(7)相连接，所述的摇臂(8)设置在支架(1)上，所述的划刻深度控制标尺(2)设置在摇臂(8)上，所述的微尺寸刀具数控运动机构(6)设置在划刻深度控制标尺(2)上，加热器(4)的上端与划刻深度控制标尺(2)的下端相连接，微尺寸刀具(5)的上部设置在加热器(4)内，温度控制器(3)通过导线与加热器(4)相连接。

2.根据权利要求1所述的微流控芯片的微沟道加工设备，其特征在于，微尺寸刀具(5)的刀头(5-1)形状为锥形、圆弧形、矩形或梯形。

3.根据权利要求1所述的微流控芯片的微沟道加工设备，其特征在于，微尺寸刀具(5)的运动速度设定范围为0～100mm/s。

4.根据权利要求1所述的微流控芯片的微沟道加工设备，其特征在于，微尺寸刀具(5)的运动范围为0～200mm。

5.根据权利要求1所述的微流控芯片的微沟道加工设备，其特征在于，微尺寸刀具(5)的温度范围为0～500℃。