[发明专利]一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法有效
| 申请号： | 201110084661.3 | 申请日： | 2011-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102252617A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 赵学森;孙涛;闫永达;胡振江;吴玉东;董申 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;B23Q17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 形貌 分析 精密 主轴 回转 精度 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法，其特征在于，首先，将表面样品安装在待测精密主轴上，调整表面样品的位置，使其在待测精密主轴的回转中心附近；二、调节表面微观形貌测量传感器相对于表面样品的位置，使得表面微观形貌测量传感器的测量范围覆盖到表面样品随待测精密主轴旋转时的回转中心位置；三、控制系统控制待测精密主轴到某一角度位置，由表面微观形貌测量传感器测量一幅表面形貌图；控制系统控制待测精密主轴到一个角度θ位置，再次测量一幅表面形貌图；按照上述过程，依次采集待测精密主轴在完整圆周位置上表面样品的表面形貌图；四、形貌数据配准分析处理系统将所获得的若干表面形貌图进行分析，即可得到待测精密主轴的回转误差数据，并进行误差评价。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，表面微观形貌测量传感器为二维形貌/图像传感器。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，表面微观形貌测量传感器为三维形貌传感器。
4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，形貌数据配准分析处理系统采用三维刚体运动的齐次坐标变换矩阵理论计算待测精密主轴的回转误差数据。
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