[发明专利]Ag/氧化锌基复合透明电极的发光二极管及其制备方法

权利要求书

1.一种Ag/氧化锌基复合透明电极的发光二极管，包括：蓝宝石衬底(1)、缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)、Ag/氧化锌基透明电流扩展层(7)、n型金属电极(8)连接n型氮化镓(4)、p型金属电极(9)连接Ag/氧化锌基透明电流扩展层(7)，其中缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)是在MOCVD中依次生长完毕；其特征在于所述的Ag/氧化锌基透明电流扩展层(7)的制备方法是依次是利用电子束蒸镀或者真空蒸镀的方法将Ag纳米薄膜蒸镀在p型氮化镓表面，再利用磁控溅射的方法将氧化锌透明薄膜溅射在Ag纳米薄膜表面，形成Ag/氧化锌复合透明电极，其中Ag薄膜的材质是纯金属Ag颗粒，氧化锌基透明导电薄膜的材质是ZnO:Ga或ZnO:Al或ZnO:In；所述的n型金属电极(8)是金属复合电极，材质是Ti/Al或Cr/Pt/Au；所属的p型金属电极(9)是金属复合电极，材质是Ni/Au或Cr/Pt/Au。

2.根据权利要求1所述的Ag/氧化锌基复合透明电极的发光二极管，其特征在于p型金属电极的形状为交叉十字型。

3.一种用于权利要求1所述的Ag/氧化锌基复合透明电极的发光二极管的制备方法，其特征在于其工艺步骤如下：

a.用MOCVD的方法在衬底上依次缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)；

b.对外延片进行镁激活退火处理；

c.使用化学试剂对外延片进行表面处理，其化学试剂是KOH或者HCl或者王水；

d.通过电子束蒸发或真空蒸镀和磁控溅射分别沉积Ag纳米薄膜和氧化锌透明导电薄膜，形成Ag/氧化锌基透明电流扩展层(7)；

e.用湿法腐蚀的方法刻蚀出所设计的Ag/氧化锌基透明电流扩展层(7)图形；

f.通过离子刻蚀或ICP干法刻蚀将n型氮化镓暴露出来； 

g.对外延片进行退火处理；

h.通过热蒸发或电子束蒸发的方法沉积n型金属电极(8)和p型金属电极(9)；

i.再次退火处理，进行金属电极的合金化；

j.分割外延片。