[发明专利]旋涂装置

权利要求书

1.一种旋涂装置，包括：

密封舱；

平衡部件，其安装在所述密封舱内；

模具夹具，其安装在所述平衡部件上面，用于装夹待涂覆旋涂剂的模具；

驱动电机，其主轴与平衡部件相连接，用于驱动整个密封舱；

旋涂剂注入装置，其安装在所述密封舱的外表面上；

真空装置，其用于将所述密封舱进行抽真空和解真空处理；以及

平衡检测装置，其与所述旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。

2.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述驱动电机为大功率高精度主轴电机，所述驱动电机的主轴具有轴向贯穿的中心孔。

3.根据权利要求1所述的旋涂装置，所述平衡部件的中心下方具有轴套，所述轴套与所述驱动电机主轴的上端部相连接。

4.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述驱动电机与所述平衡部件和所述模具夹具刚性连接。

5.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述平衡部件构造成盘形，其具有从盘形中心向外辐射的多个辐条，所述多个辐条的相邻辐条之间为中空，并且在所述平衡部件的周边上具有一个或多个配重块。

6.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述真空装置包括：

外真空泵，其通过管道与所述密封舱相连接，用于为所述密封舱提供负压；以及

高压空气进气装置，其设置在所述密封舱的底部，用于对所述密封舱解真空处理

7.根据权利要求2所述的旋涂装置，其中，所述真空装置还包括：内真空泵，其通过管道与所述驱动电机主轴的中心孔相连接，用于为所述模具夹具提供负压。

8.根据权利要求3所述的旋涂装置，其中，通过设置在所述电机主轴与所述轴套之间的动密封环和静密封环之间的相对滑动，以保证所述电机主轴与所述轴套之间的密封，进而保证所述密封舱的负压旋涂条件。

9.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述模具夹具包括模仁夹具和薄板真空夹具，所述模仁夹具用于装夹厚度大于3mm的模具，所述薄板真空夹具用于装夹厚度小于3mm的模具。

10.根据权利要求9所述的旋涂装置，其中，所述薄板真空夹具包括：

第一真空板，其设置在所述平衡部件的上面，所述第一真空板具有多个轴向阵列通孔，并且所述第一真空板形成边缘部的厚度比中间部的厚度小的形状；

第二真空板，其紧密地设置在所述第一真空板的下面，所述第二真空板的中间部上具有与所述平衡部件的轴套相连接的孔，并且所述第二真空板形成边缘部的厚度比中间部的厚度大的形状；以及

真空密封垫，其周向地设置在所述第一真空板的边缘部和所述第二真空板的边缘部之间，

其中，在所述第一真空板的中间部和所述第二真空板的中间部之间形成有间隙，所述间隙与所述驱动电机主轴的中心孔相连通。

11.根据权利要求10所述的旋涂装置，其中，所述第一真空板上设置有定位板，用于对不同尺寸的薄板模具定位。

12.根据权利要求11所述的旋涂装置，其中，在将所述薄板模具偏心地放置在所述薄板真空夹具上时，所述薄板真空夹具利用大气压力、旋转产生的向心力以及偏心自锁实现对薄板模具的装夹。

13.根据权利要求9所述的旋涂装置，其中，所述模仁夹具包括放置在所述平衡部件上表面上的过渡板，所述模仁夹具利用多个紧固件将模仁模具直接安装在所述过渡板上。

14.根据权利要求1所述的旋涂装置，其中，所述密封舱包括密封舱上盖和密封舱下盖。

15.根据权利要求14所述的旋涂装置，还包括：密封舱上盖举升装置，其与所述密封舱上盖的外表面相连接，用于举升所述密封舱上盖。

16.根据权利要求14所述的旋涂装置，其中，所述密封舱上盖和所述密封舱下盖均具有周向地向外凸出的法兰，以利用多个紧固件将所述密封舱上盖的法兰和所述密封舱下盖的法兰连接在一起，从而使所述密封舱上盖和所述密封舱下盖接合。

17.根据权利要求14所述的旋涂装置，其中，沿着所述密封舱上盖内侧顶面周向地设置有向下延伸的加强板，所述加强板形成：一端与所述密封舱上盖的内侧顶面相连接，另一端向下延伸并在端部形成向内弯曲的凹槽，以存储回收的残留的旋涂剂。