[发明专利]一种工件台漏水保护装置无效
| 申请号： | 201110087962.1 | 申请日： | 2011-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN102736433A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 范哲光;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 工件 漏水 保护装置 | ||
1.一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括：底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，其特征在于，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。
2.如权利要求1所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互贯通，所述相互贯通的各条漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所有相互贯通的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所有相互贯通的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
3.如权利要求2所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板中还设置有不能同所述相互贯通的漏水保护槽相贯通的独立的漏水保护槽，每条所述独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，每条所述独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所述独立的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
4.如权利要求1所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互独立，所述每条独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所述每条独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入其中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
5.如权利要求1至4中任一权利要求所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述漏水保护槽内所述隔水材料之上的空隙内均填充有吸水材料。
6.如权利要求5所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述吸水材料的表面同所述底板齐平。
7.如权利要求5所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述吸水材料为高吸水性树脂或高吸水性塑料或海绵。
8.如权利要求1所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述隔水材料为聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。
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