[发明专利]一种塑封晶体管溢料软化液及其制备方法有效
申请号: | 201110091084.0 | 申请日: | 2011-04-04 |
公开(公告)号: | CN102270587A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 修建东 | 申请(专利权)人: | 修建东 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 264006 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 塑封 晶体管 软化 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及半导体塑封封装工艺流程的去飞边化工技术领域,尤指一种塑封晶体管溢料软化液及其制备方法。
背景技术
自2000年以来,中国半导体产业的发展开始步入快车道,国内IC设计和芯片制造规模的不断扩大,内地崛起的半导体晶圆代工产业的发展,对后段制造的拉动效应已开始显现,中国半导体封装测试业在近几年也同样保持了稳定快速发展的势头;国内电子产品市场的迅速壮大,出于接近客户需求目的,特别是得益于国内良好的投资环境,国际大型半导体公司纷纷将其封装企业转移至国内,直接拉动了国内半导体封装产业规模的迅速扩大,目前中国已经成为全球增长最快的半导体封装市场之一。根据资料显示,90%以上的晶体管及70%~80%的集成电路已使用塑料封装材料,而环氧树脂封装塑粉是最常见的塑料封装材料。典型的晶体管封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋、外观检查、测试和包装出货,溢料问题是封装过程中常见的质量问题,有溢料就会形成飞边、附着接线引脚和散热片,从而影响成品晶体管外观、可焊性和散热性,如何减少溢料的发生和去除溢料是封装工程师、电镀工程师以及材料生产商和模具制造商共同探讨和重视的课题。将塑封晶体管溢料用化学方法软化,制备一种软化液,为去除溢料提供了一种方便经济的解决办法,提高了塑封晶体管封装良率以及组装良率。
发明内容
本发明一种塑封晶体管溢料软化液及其制备方法,具有造价低廉、使用方便,并提高了塑封晶体管封装良率以及组装良率。
为了实现上述目的,本发明提供一种塑封晶体管溢料软化液及其制备方法,该软化液的组分及质量百分含量为:
其中,A组分是至少一种具有通式结构的酰胺化合物,
这里R1或者是H或者是碳数为1~4的烷基,R2是碳数为1~4的烷基、烯基或羟烷基,R3是碳数为1~4的烷基、烯基或羟烷基。
B组分是通式为R4O-(AO)n-R5的化合物,R4是碳数为6~18的烷基、烯基或苯基,R5或者是H或者是碳数为1~6的烷基、烯基中的一种,AO是具有碳数为2~4的环氧烷烃,优选碳数为2或3的环氧烷烃,n是从9到20的整数,其主要作用是增强的浸透性和表面洗净力。
C组分是NH4F,在加热的条件下,与溢料中的硅微粉发生化学反应,从而加速溢料的软化。
D组分是三乙醇胺、二乙醇胺和异丙醇胺中的至少一种,其主要作用为碱性调整剂,使软化液长期稳定显弱碱性。
E组分是去离子水。
本发明的制备方法为:将上述组分原料在30~50℃温度下加热溶解,在反应釜中逐个加入上述各组分,使其全部溶解,可得到均匀透明的弱碱性浅黄色液体,罐装即为成品。
具体实施方式
实施例1
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造