[发明专利]一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法

权利要求书

1.一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，利用FPGA实现，其特征在于：包括以下步骤：

（1）首先将FPGA中用于存储灰阶图形数据的存储器划分为N个相同大小的区域，N表示灰阶图形灰阶的阶数；

（2）利用FPGA分别提取用来表示灰阶图形数据的二进制码的每一位，并依次形成与灰阶图形像素点分布一致的N张单色图形数据，然后将N张单色图形数据分别存储到存储器各个区域中；

（3）当待曝光器件与图形发生器所反射的激光光束相对位置移动了一个曝光像素点时，更新一次图形发生器的图形显示，同时，FPGA分别从存储器的每个区域读取行的曝光数据形成一张与图形发生器像素分布一致的像素数据，并控制图形发生器显示。

2.根据权利要求1所述的一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，其特征在于：所述图形发生器为用于直写式光刻机的图形发生器SLM，其由像素点组成，且每个像素点可单独控制是否反射激光光束。

3.根据权利要求1所述的一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，其特征在于： 所述步骤（3）中，图形发生器的图形显示更新方式为：将FPGA的各个存储器的区域中的行地址加一，并从新的行地址开始读取数据，图形发生器的单色图形数据由各个存储器的区域按规定数目行数据组成。

4.根据权利要求1所述的一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，其特征在于： 所述步骤（3）中，FPGA从存储器的每个区域读取的行数不同，存储灰阶图形数据二进制值的某一位数据的区域就对应读取这一位对应的二进制权值，位(N-n)所对应的分区应该读取                                               行数据，其中N为灰阶值，n为二进制位。

5.根据权利要求1所述的一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，其特征在于： 所述步骤（3）中，行是指图形发生器中与扫描运动方向垂直的一行像素点的集合，扫描运动方向是指曝光过程中图形发生器与待曝光器件的相对运动方向。