[发明专利]一种纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头

权利要求书

1.一种纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，包括软磁性材料制成的探头芯(1)，其特征在于：在探头芯(1)外套装有金属螺线管(2)，驱动电流通过通电电极(6)接在金属螺线管(2)上，应力(3)加在探头芯(1)上。

2.根据权利要求1所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：探头芯(1)采用非晶或纳米晶软磁性合金制成。

3.根据权利要求2所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：探头芯(1)采用FeCuNbSiB、FeCoNbSiB、FeSiPBC、FeSiB合金材料制成。

4.根据权利要求1、2或3所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：金属螺线管(2)用漆包线密绕而成，或采用镀膜和光刻技术相结合制成的微型线圈。

5.根据权利要求4所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：应力敏感信号由信号处理电路从螺线管(2)两端的测量电极(4)取出，然后由信号处理电路输出给信号显示系统或控制系统。

6.根据权利要求5所述的一种纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：驱动电流为交流电。

7.根据权利要求4所述的一种纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：驱动电流为交流电。

8.根据权利要求1、2或3所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：应力敏感信号由信号处理电路从螺线管(2)两端的测量电极(4)取出，然后由信号处理电路输出给信号显示系统或控制系统。

9.根据权利要求8所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：驱动电流为交流电。

10.根据权利要求1、2或3所述的纵向驱动应力阻抗力敏传感器探头，其特征在于：驱动电流为交流电。