[发明专利]透射电镜微栅

权利要求书

1.一种透射电镜微栅，其包括：

一金属网状结构体；

其特征在于：进一步包括一碳纳米管复合层覆盖该金属网状结构体，该碳纳米管复合层包括一碳纳米管膜结构，以及一纳米材料层包覆于该碳纳米管膜结构的表面。

2.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管复合层与该金属网状结构体层叠设置。

3.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜结构包括多个碳纳米管通过范德华力相互连接组成一自支撑结构。

4.如权利要求3所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述纳米材料层包覆于该每个碳纳米管的表面。

5.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述纳米材料层包覆整个碳纳米管膜结构。

6.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述纳米材料层为一连续的层状结构。

7.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述纳米材料层的厚度为1纳米~500纳米。

8.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管复合层具有多个微孔，微孔的内壁被纳米材料层包覆。

9.如权利要求8所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述多个微孔的尺寸为0.5纳米~1微米。

10.如权利要求9所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述尺寸小于50纳米的微孔占总微孔数量的60%以上。

11.如权利要求9所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述尺寸小于100纳米的微孔占总微孔数量的80%以上。

12.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述纳米材料层的材料为类金刚石、硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硼以及氮化硅中的一种或多种。

13.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜结构包括至少一碳纳米管膜，该碳纳米管膜包括多个基本沿同一方向择优取向延伸的碳纳米管。

14.如权利要求13所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜中大多数碳纳米管的整体延伸方向基本沿同一方向且平行于碳纳米管膜的表面。

15.如权利要求14所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述大多数碳纳米管中每一碳纳米管与在延伸方向上相邻的碳纳米管通过范德华力首尾相连。

16.如权利要求14所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜结构包括多层碳纳米管膜交叉层叠设置。

17.如权利要求1所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜结构包括多个碳纳米管线交叉设置。

18.如权利要求17所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管膜结构包括两层交叉设置的碳纳米管线，每层中的碳纳米管线平行排列，且不同层的碳纳米管线相互垂直。

19.如权利要求17所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述碳纳米管线表面被所述纳米材料层包覆。

20.如权利要求17所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述多个碳纳米管线中每个碳纳米管的表面均被纳米材料层包覆。

21.一种透射电镜微栅，其包括：

一支撑体，该支撑体具有至少一通孔；

其特征在于：进一步包括一碳纳米管复合层覆盖该支撑体的至少一通孔；该碳纳米管复合层为多个碳纳米管复合纤维构成的网状结构体，该碳纳米管复合纤维包括碳纳米管以及包覆于该碳纳米管表面的纳米材料层。

22.一种透射电镜微栅，其包括：

一支撑体，该支撑体具有至少一通孔；以及

一碳纳米管膜结构覆盖该至少一通孔；

其特征在于：进一步包括一纳米材料层包覆于该碳纳米管膜结构表面。

23.如权利要求22所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述通孔的孔径为10微米~2毫米。

24.如权利要求22所述的透射电镜微栅，其特征在于，所述支撑体的材料为金属或陶瓷。