[发明专利]一种光分路器

权利要求书

1.一种光分路器，包括具有多个分支的分支结构(2)和具有自由传输区(3)的罗兰圆结构，其特征在于，该分支结构包括展开区(9)，其折射率分布是渐变的使得在光传输的正交方向上满足正弦函数分布，

其中，所述罗兰圆结构包括：

输出端(2)，连接含有罗兰圆结构的自由传输区(3)的圆弧较小的第一侧(6)；以及

输入端(7)，连接输入波导(1)，

其中，自由传输区(3)的圆弧较大的第二侧(8)连接输出波导阵列(4)。

2.根据权利要求1所述的光分路器，其特征在于，所述分支结构(2)包括奇数个分支，各个分支为带有锥度的波导，并且，各个分支波导弯曲半径按照一定比例设计。

3.根据权利要求1所述的光分路器，其特征在于，所述分支结构(2)中心的分支波导(10)为末端带有锥度的直波导，且该直波导的宽度为其他分支弯曲波导宽度的两倍。

4.根据权利要求3所述的光分路器，其特征在于，其他各个分支波导弯曲半径的比例由内至外近似为1∶3^-1∶5^-1∶...∶(2n+1)^-1，其中n为自然数。

5.根据权利要求1所述的光分路器，其特征在于，所述的输出波导阵列(4)含有2M根波导，其中M为自然数。

6.根据权利要求5所述的光分路器，其特征在于，所述的输出波导阵列(4)为带有锥度的波导阵列。

7.根据权利要求1所述的光分路器，其特征在于，所述圆弧较小的第一侧(6)的圆弧直径与所述圆弧较大的第二侧(8)的圆弧半径相等，并且所述圆弧较小的第一侧(6)所在的圆与圆弧较大的第二侧(8)的圆弧中点相切。

8.一种制造权利要求1-7任一项所述的光分路器的方法，其特征在于，该方法包括：

在带有铝膜玻璃基片旋涂一层光刻胶；

用预先设计好基于罗兰圆结构的光分路器图形光刻板对基片进行常规光刻工艺；

光刻完成后对铝膜进行腐蚀工艺；

腐蚀完成后剥离光刻胶得到带有图形铝膜的玻璃基片；

对完成光刻的玻璃基片浸入硝酸银和硝酸钠混合熔盐进行银钠离子交换，从而得到含有罗兰圆结构的离子交换波导型光分路器基片。