[发明专利]一种超薄平板紫外光源

权利要求书

1.一种超薄平板紫外光源，其特征在于：包括由透光材料制备的前基板(1)和后基板(2)，置于所述前基板(1)和后基板(2)之间的网格孔板(3)；所述前基板(1)、后基板(2)和网格孔板(3)的四周气密封接；所述网格孔板(3)上设置有若干个通孔(10)将所述前基板(1)和后基板(2)之间的空间分隔为若干个放电空间(9)，所述放电空间(9)中充入有工作气体；所述前基板(1)的外侧交错平行设置有第一电极组(5)和第二电极组(6)，所述后基板(2)的外侧设置有与所述第一电极组(5)和第二电极组(6)方向垂直的第三电极组(7)。

2.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述前基板(1)的内侧蒸镀有前基板保护薄膜层(4a)；所述后基板(2)的内侧蒸镀有后基板保护薄膜层(4b)。

3.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述网格孔板(3)的通孔(10)内侧涂覆有荧光粉层(8)。

4.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述前基板(1)和后基板(2)的内侧涂覆有荧光粉层(8)。

5.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述前基板(1)、后基板(2)和网格孔板(3)的四周通过低熔点玻璃粉制作的封接框进行气密封接。

6.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述通孔(10)为矩形，其边长为50μm～50mm。

7.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述前基板(1)的厚度为30～500μm；所述后基板(2)的厚度为30～500μm。

8.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述网格孔板(3)的厚度为50μm～50mm。

9.根据权利要求1所述的超薄平板紫外光源，其特征在于：所述透光材料为石英玻璃或AF45玻璃。