[发明专利]采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法有效
| 申请号： | 201110093370.0 | 申请日： | 2011-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102181921A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;段垚;崔军朋;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B33/02;C30B29/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 金属 化学 沉积 技术 制备 极性 可控 氧化锌 方法 | ||
1.一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，包括：
在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；
对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；
去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及
在c-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；
其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。
2.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，所述在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜，包括：
生长时，衬底温度为795℃，锌舟温度为720℃，H2O鼓泡瓶温度50℃；生长开始时，Zn比H2O先通入30秒；气体流量为：Zn和H2O载气分别为0.4和3L/min，总流量9.4L/min；在该条件下，生长速率约为120-140μm/h。
3.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，所述对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温时采用原位退火处理，包括：
在第一次生长氧化锌膜3分钟后进行原位退火，在810-815℃退火10分钟，冷却后取出。
4.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，所述对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温时采用直接快速降温，包括：
在第一次生长氧化锌膜后，采用速率为7℃/min进行直接快速降温，冷却后取出。
5.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，所述去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜，是采用酸或碱腐蚀掉蓝宝石衬底上的氧化锌膜。
6.根据权利要求1所述的采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，所述去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜，是采用H2进行原位刻蚀掉氧化锌膜。
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