[发明专利]检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法

权利要求书

1.检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：它包括如下步骤：

A)将加速度传感器贴在分子泵的外壳；

B)开启分子泵，利用加速度传感器测量分子泵的震动加速度值并送到频谱分析仪器；

C)再利用频谱分析仪器得到在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据；

D)利用在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据进行判断分子泵的轴承运行状态：(D1)当处于高频状态下，加速度信号值小且无杂频表示分子泵处于良好运行状态；(D2)当处于高频状态下，加速度信号值大且有杂频表示分子泵处于不良运行状态；(D3)当处于高频状态下，加速度信号值又大又密且杂频多，显示该泵状态非常差需要维修。

2.根据权利要求1所述的检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：所述的一定频率范围是指0-10K HZ的范围。

3.根据权利要求1或2所述的检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：高频状态是指5K-10K HZ的范围。

4.根据权利要求3所述的检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：步骤A)将加速度传感器贴在分子泵的外壳是分别贴在分子泵的外壳的前端和尾端，分别测量前后轴承运行状态。

5.根据权利要求1或2所述的检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：在步骤D)后还增加步骤E)：根据分子泵的正常工作频率附近的加速度值频谱变化的数据作出辅助判断，当加速度值小，表示处于正常状态或者需要维修状态，当加速度值大，表示泵处于危险状态。