[发明专利]托盘及具有其的化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种托盘，其特征在于，包括：

托盘本体；

多个安装槽，所述多个安装槽沿所述托盘本体的周向设置；

多个小托盘，每个所述小托盘对应地设置在一个安装槽中，

其中，所述托盘本体由绝缘材料构成，所述多个小托盘由导热且导电的材料构成。

2.如权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述小托盘在所述安装槽中可转动。

3.如权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述多个安装槽均匀设置在所述托盘本体的周向边缘处以使所述多个小托盘的边缘凸出所述托盘本体且与反应腔内壁接触，且所述多个小托盘的边缘设有第一啮合部件，所述第一啮合部件与设置在所述反应腔内壁的第二啮合部件相互匹配。

4.如权利要求3所述的托盘，其特征在于，所述小托盘和所述安装槽之间涂覆有润滑油。

5.如权利要求3所述的托盘，其特征在于，所述小托盘和所述安装槽之间具有间隙，且所述安装槽中设有顶针，所述小托盘的底部与所述顶针接触。

6.如权利要求1-5任一项所述的托盘，其特征在于，所述绝缘材料包括石英、陶瓷，所述导热且导电的材料包括石墨、SiC、Mo或Mo合金。

7.如权利要求1所述的托盘，其特征在于，所述小托盘的材料为表面涂覆有SiC或氮化硼涂层的石墨。

8.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：

反应腔，所述反应腔包括反应腔外壁和反应腔内壁，所述反应腔内壁限定有反应空间；

设置在所述反应腔外壁之外的多个感应线圈；和

一个或多个托盘，所述一个或多个托盘设置在所述反应空间之中，所述一个或多个托盘包括如权利要求1-7任一项所述的托盘。

9.如权利要求8所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述多个托盘在所述反应空间内竖直地或水平地等间隔设置。

10.如权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括：

转轴，所述转轴穿过所述多个托盘的中心以带动所述多个托盘转动；和

第一电机，所述第一电机控制所述转轴在第一方向上以第一转速转动。

11.如权利要求10所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括：

第二电机，所述第二电机带动所述反应腔内壁在第二方向上以第二转速转动。

12.如权利要求11所述的化学气相沉积设备，其特征在于，所述第一方向和第二方向相同，且所述第一转速大于所述第二转速。