[发明专利]一种利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法无效
申请号: | 201110094279.0 | 申请日: | 2011-04-15 |
公开(公告)号: | CN102181893A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 杜祖亮;王信春;王广君;张兴堂 | 申请(专利权)人: | 河南大学 |
主分类号: | C25D5/00 | 分类号: | C25D5/00;C25D5/50 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 刘建芳 |
地址: | 47500*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 调节 ph 沉积 制备 cuinse sub 薄膜 方法 | ||
1.一种利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:在含有铜、铟、硒离子的电解液中,室温下先将电解液pH值调至1.0—2.5,然后在阴极基底上电沉积制得铜铟硒预制膜,晾干后,把预制膜放在有固态硒源的真空或惰性气体氛围下进行退火处理后,即得铜铟硒薄膜。
2.如权利要求1所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:使用稀酸液调节电解液pH值,所述稀酸液为质量百分数10—20%的硫酸或盐酸。
3.如权利要求1所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:所述电解液中含有6.48—8.88mmol/L的铜离子、90—110mmol/L的铟离子、16—20mmol/L的H2SeO3、0.5—1.0mol/L的KCl或LiCl,和0.5—0.75mol/L的柠檬酸钠,其中铜、铟离子分别选自相应的硫酸盐或氯化物。
4.如权利要求1所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:所述电沉积模式为恒电位沉积,沉积电位为-0.5V—-0.7 V,沉积时间为20—40min。
5.如权利要求1所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:所述退火处理的温度为450—550℃,退火时间为20—35min。
6.如权利要求1至5任一所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:阴极基底材料为ITO导电玻璃或FTO导电玻璃。
7.如权利要求1所述利用调节pH值电沉积制备富铟CuInSe2薄膜的方法,其特征在于:在含有铜、铟、硒离子的电解液中,室温下先用10—20%的硫酸将电解液pH值调至1.5—2.0,然后在阴极基底上电沉积制得铜铟硒预制膜,晾干后,把预制膜放在有固态硒源的真空或惰性气体氛围下于450—550℃退火处理25—30min后,即得铜铟硒薄膜;其中电解液中含有6.48—8.88mmol/L CuSO4、45—55mmol/L In2(SO4)3、16—20mmol/L的H2SeO3、0.5—1.0mol/L的KCl和0.5—0.75mol/L的柠檬酸钠;采用恒电位沉积,沉积电位为-0.5V— -0.7 V,沉积时间为20—40min;阴极基底材料为ITO导电玻璃。
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