[发明专利]一种光刻机直线运动驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种光刻机直线运动驱动装置。

背景技术

在扫描光刻机设备中，通过直线运动驱动装置带动粗动台做Y向长行程运动。现有技术的直线运动驱动装置中的粗动台采用双边驱动的方式实现直线运动，粗动台的两侧分别设置有粗动电机，通过粗动电机的推动，使得粗动台沿着设置于其两侧的L型气浮导轨进行运动。但由于粗动台和粗动电机尺寸都比较大，粗动台同粗动电机之间进行连接时连接点有多个，造成粗动台同粗动电机之间的相对位置关系约束较多，活动空间不大，且在加工和装配中，两侧L型导轨很难保证绝对平行，因此现有技术的光刻机直线运动驱动装置中，粗动台两侧的L型导轨一旦没有保持平，而粗动台由于同位于其两侧的粗动电机的连接较为固定，粗动台在移动过程中即会遭遇到无法同其两侧的L型导轨相适应的情况，从而导致粗动台无法顺畅运动。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种光刻机直线运动驱动装置，以解决现有技术的光刻机直线运动驱动装置在位于粗动台两侧的导轨不平行的状况下粗动台无法顺畅运动的问题。

为解决上述技术问题，本发明一种光刻机直线运动驱动装置，包括：粗动台、分别设置于所述粗动台两侧的粗动电机以及分别设置于所述粗动电机外侧的导轨，所述粗动电机置于所述导轨之上，所述粗动台在所述粗动电机的驱动下沿所述导轨进行运动，还包括柔性件，所述粗动台通过所述柔性件同所述粗动电机相连接。

可选的，所述柔性件包括第一类型柔性件，第二类型柔性件，第三类型柔性件以及簧片。

可选的，所述第一类型柔性件设置于所述粗动台一侧，连接所述粗动台和所述粗动电机；

所述第二类型柔性件设置于所述粗动台的另一侧，连接所述粗动台和所述粗动电机；

所述第三类型柔性件通过所述簧片连接所述粗动台和所述粗动电机。

可选的，所述第一类型柔性件包括第一粗动台固定部件及第一粗动电机固定部件；所述第一粗动台固定部件同所述第一粗动电机固定部件相互交叉垂直固定；所述第一粗动电机固定部件固定于所述粗动电机上；所述第一粗动台固定部件同所述粗动台连接固定。

可选的，所述第二类型柔性件包括第二粗动台固定部件及第二粗动电机固定部件；所述第二粗动台固定部件位于所述第二粗动电机固定部件的一侧且所述第二粗动台固定部件同所述粗动电机固定部件相互垂直固定；所述第二粗动电机固定部件固定于所述粗动电机上；所述第二粗动台固定部件同所述粗动台连接固定。

可选的，所述第三类型柔性件包括底座和侧板，所述底座位于所述侧板的一侧且所述底座同所述侧板相互垂直固定。

可选的，所述簧片为薄板状，所述第三类型柔性件的底座放置于所述粗动台的底部对所述粗动台提供支撑，所述第三类型柔性件的侧板同所述簧片相固定，所述簧片同时固定在所述粗动电机上。

可选的，设定平行于所述粗动台表面的平面内，垂直于所述导轨的方向为X方向，平行于所述导轨的方向为Y方向；同时垂直于所述X方向和Y方向的为Z方向；所述第一类型柔性件中，X方向及Z方向的刚度高于Y方向的刚度；所述第二类型柔性件中Z方向的刚度高于X方向及Y方向的刚度；所述第三类型柔性件中Y方向的刚度高于X方向和Z方向的刚度；所述簧片中X方向的刚度低于Y方向和Z方向的刚度。

可选的，所述导轨为L型导轨。

可选的，所述柔性件的材质为弹簧钢。

本发明的光刻机直线运动驱动装置中，通过柔性件使粗动台同粗动电机相连接，该柔性件根据需要具有不同结构，且各类柔性件在各个方向的刚度设置不同，在保证粗动电机驱动力有效的作用在粗动台上的同时，可消除粗动台同粗动电机之间因具有的多个连接点对粗动台沿导轨运动所造成的约束，同时能消除两侧导轨不平行对粗动台运动所带来的不利影响。

附图说明

图1为本发明的光刻机直线运动驱动装置侧视结构示意图；

图2为本发明的光刻机直线运动驱动装置俯视结构示意图；

图3为本发明的第一类型柔性件的结构示意图；

图4为本发明的第二类型柔性件的结构示意图；

图5为本发明的第三类型柔性件的结构示意图；

图6为本发明的簧片的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面对本发明的具体实施方式做详细的说明。