[发明专利]一种光刻机投影物镜微调平机构

权利要求书

1.一种光刻机投影物镜微调平机构，包括安装基板(2)、安装件(3)、多个支撑调整杠杆机构(4)和固定件(5)，其特征在于：所述支撑调整杠杆机构(4)主要由杠杆安装底座(7)、调节杠杆(8)、轴(9)、轴限位件、预紧件和调整件组成，支撑调整杠杆机构(4)通过固定件(5)将杠杆安装底座(7)与安装基板(2)固定，并通过安装件(3)将物镜法兰(6)和调节杠杆(8)的前端连接；轴(9)位于杠杆安装底座(7)前部上表面的凹槽内，轴(9)两端通过轴限位件固定在杠杆安装底座(7)上；调节杠杆(8)和杠杆安装底座(7)通过预紧件对支撑调整杠杆机构(4)进行预紧，并通过调整件对支撑调整杠杆机构(4)进行调整。

2.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述杠杆安装底座(7)前部上表面的凹槽为半圆柱形凹槽，调节杠杆(8)前部的下表面与上述凹槽相对的位置处开有轴定位槽(19)，轴定位槽(19)、轴(9)和杠杆安装底座(7)上的半圆柱形凹槽构成支撑调整杠杆机构(4)的支点。

3.如权利要求1或2所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述轴定位槽(19)的圆心在调节杠杆(8)下表面的下方，调节杠杆(8)的前端下表面与杠杆安装底座(7)的上表面之间有间隙。

4.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述轴限位件包括两个轴端盖(12)、四个轴端盖固定螺钉(10)和两个挡圈(15)，两个轴端盖(12)分别位于调节杠杆(8)的两侧，轴端盖(12)通过轴端盖固定螺钉(10)将轴(9)的两端固定在杠杆安装底座(7)上，两个挡圈(15)分别位于轴(9)两端的外侧。

5.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述预紧件包括预紧弹簧(16)和销(17)，预紧弹簧(16)的两端通过销(17)分别固定在杠杆安装底座(7)的前部和调节杠杆(8)的前部。

6.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述调整件包括调整螺母(14)、调整螺母固定螺钉(13)和调整螺钉(11)，所述调整螺母(14)通过调整螺母固定螺钉(13)固定在杠杆安装底座(7)后部的沉头孔里，调整螺钉(11)穿过调节杠杆(8)后部的孔与调整螺母(14)螺纹连接。

7.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述支撑调整杠杆机构(4)的个数为三个，沿物镜法兰(6)的圆周均匀分布；所述安装件(3)和固定件(5)分别为螺钉。

8.如权利要求1所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述调节杠杆(8)前端上表面的纵向开有减振槽(18)。

9.如权利要求8所述的一种光刻机投影物镜微调平机构，其特征在于：所述减振槽(18)为半圆柱形凹槽。