[发明专利]着色感光性树脂组合物、图案形成方法、滤色器及其制造方法、及显示装置有效
申请号: | 201110097972.3 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN102236255A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 中村秀之;藤本进二 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/033;G03F7/00;G02B5/20;G02F1/1335 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽;陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 着色 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 滤色器 及其 制造 显示装置 | ||
1.一种着色感光性树脂组合物,其至少含有(A)着色剂、(B-1)下述通式(I)所示的具有至少1种酸性基团的粘合剂树脂、(B-2)含有下述通式(II)所示的结构单元和具有酸性基团的结构单元的粘合剂树脂、(C)聚合性化合物、(D)肟系光聚合引发剂、以及(E)溶剂,所述(B-1)粘合剂树脂与(B-2)粘合剂树脂的以质量基准计的含有比率为3∶7~7∶3,
通式(I)中,R3表示(m+n)价的有机连接基团;R4和R5各自独立地表示单键或2价的有机连接基团;A2表示含有至少1种选自有机色素结构、杂环结构、酸性基团、具有碱性氮原子的基团、脲基、氨基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基团、碳原子数为4以上的烃基、烷氧基甲硅烷基、环氧基、异氰酸酯基、以及羟基中的部分结构的1价有机基团;n个A2、R4相同或不同;m表示1~8、n表示2~9,且m+n满足3~10;P2表示高分子骨架;m个P2、R5相同或不同,
通式(II)中,R11~R15各自独立地表示氢原子、卤原子、氰基、烷基或芳基,R16表示氢原子或甲基。
2.根据权利要求1所述的着色感光性树脂组合物,其中,所述(D)肟系光聚合引发剂为下述通式(III)所示的酮肟系光聚合引发剂,
通式(III)中,R和X各自独立地表示一价的取代基,A表示二价的有机基团,Ar表示芳基,n为0~5的整数,当X存在多个时,多个X相同或不同。
3.根据权利要求1或2所述的着色感光性树脂组合物,其用于紫外光激光曝光。
4.一种图案形成方法,其包含:将权利要求1或2所述的着色感光性树脂组合物施予在基板上以形成着色层的着色层形成工序;对所述着色层进行图案样的紫外光激光曝光以使曝光区域固化的曝光工序;和将所述着色层的未曝光部显影除去以形成图案的显影工序。
5.根据权利要求4所述的图案形成方法,其中,所述紫外光激光的曝光波长为300nm~380nm的范围。
6.根据权利要求4所述的图案形成方法,其中,所述紫外光激光是在20Hz~2000Hz的频率下激发的脉冲激光。
7.一种滤色器的制造方法,其具有通过权利要求4所述的图案形成方法在基板上形成着色图案的工序。
8.一种滤色器,其是通过权利要求7所述的滤色器的制造方法制造的。
9.一种显示装置,其具备权利要求8所述的滤色器。
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