[发明专利]一种调焦调平测量装置

权利要求书

1.一种调焦调平测量装置，该装置具有照明标记单元，投影成像单元，接受成像单元，校正单元，以及探测器阵列，其中，还包括校正单元，所述校正单元具有校正棱镜单元和校正透镜组，从所述照明标记单元出射的投影标记经所述投影成像单元成像于硅片面上并被硅片面反射后由所述接受成像单元成像，并经所述校正单元校正后聚焦至探测器阵列的受光面。

2.根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其中，所述校正棱镜单元包括探测标记板和校正棱镜。

3.根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，还包括反射镜组，用于反射光束和成像光束的反射。

4.根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其中，投影标记面、所述投影成像单元与所述硅片面之间的关系满足Scheimpflug条件；所述探测标记面、所述接受成像单元和所述硅片面之间的关系满足Scheimpflug条件；所述探测标记与所述硅片面上的投影标记在所述硅片面没有离焦时成物像共轭关系。

5.根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其中，所述照明标记单元包括多个具有不用波长的角度调制单元及一合束器。

6.根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其中，所述照明标记单元包括三个具有不用波长的角度调制单元。

7.根据权利要求5所述的调焦调平测量装置，其中，所述不同波长之间的波长之差的最大值大于300nm。

8.根据权利要求5所述的调焦调平测量装置，其中，所述角度调制单元包括LD激光器、准直透镜、投影标记板及声光调制器件。

9.根据权利要求5所述的调焦调平测量装置，其中，所述合束器包括一个立方棱镜，其上镀有第一膜层和第二膜层。

10.根据权利要求8所述的调焦调平测量装置，其中，所述声光调制器件采用Bragg衍射效应对光进行高精度的偏转调制。

11.根据权利要求9所述的调焦调平测量装置，其中，所述第一膜层透过第一波长光和第三波长光，放射第二波长光；所述第二膜层透过第一波长光和第二波长光，放射第三波长光；第一投影标记板和第二投影标记板在空间上相对于所述第一膜层的表面互为镜像关系，第一投影标记板和第三投影标记板在空间上相对于所述第二膜层的表面互为镜像关系。

12.根据权利要求6所述的调焦调平测量装置，其中，第二声光调制器件和第三声光调制器件都与第一声光调制器件互为镜像，所述第二声光调制器件和所述第三声光调制器件的调制方向和角度相同，与所述第一声光调制器件的调制方向相反角度大小相等。