[发明专利]一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法有效
| 申请号： | 201110099168.9 | 申请日： | 2011-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102744234A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 叶晓雯;丁涛;沈正祥;程鑫彬;马彬;焦宏飞;张锦龙;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改善 k9 玻璃 基底 表面 质量 清洗 方法 | ||
1.一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，其特征在于，该方法先通过酸性溶液去除K9玻璃表面的金属污染，然后通过碱性溶液去除颗粒和有机物污染，清洗过程结合去离子水漂洗，以降低离子在表面的浓度和除去清洗溶剂分子或离子。
2.根据权利要求1所述的一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：
1)将待清洗的K9玻璃基底样品置于清洗槽中；
2)配制酸性溶液：控制HCl∶H2O2∶H2O的体积比为1∶1∶6，配置时先向去离子水中加入双氧水，而后再向溶液中加入盐酸，搅拌并加热至80～90℃，维持该温度继续加热15分钟；
3)往清洗槽中加入配制的酸性溶液对K9玻璃基底样品进行清洗；
4)取出样品，用去离子水漂洗2遍，去离子水温度控制为室温；
5)配制碱性溶液：配比为NH4OH∶H2O2∶H2O的体积比为1∶10∶50，配置时先向去离子水中加入双氧水，而后再向溶液中加入氨水，搅拌并加热至80～90℃，维持该温度继续加热15分钟；
6)往清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗；
7)取出样品，用去离子水漂洗3遍，去离子水温度为室温；
8)将经去离子水漂洗完得产品烘干即可。
3.根据权利要求2所述的一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，其特征在于，所述的酸性溶液配制时采用的试剂为MOS级。
4.根据权利要求2所述的一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，其特征在于，所述的碱性溶液配制时采用的试剂为MOS级。
5.根据权利要求2所述的一种改善K9玻璃基底表面质量的清洗方法，其特征在于，所述的去离子水电阻率≤18MΩ。
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