[发明专利]电容式超音波换能装置及其制作方法

权利要求书

1.一种用以制造电容式超音波换能装置的方法，其特征是包含：

提供基板；

在该基板上形成绝缘层；

在该绝缘层上形成金属层；

在该金属层上形成经图案化的光刻胶层，从而曝露出该金属层的部分；

形成经图案化的第一金属层，其实质上与该经图案化的光刻胶层共平面；

移除该经图案化的光刻胶层；

形成经图案化的第二金属层，其与该经图案化的第一金属层实质上共平面；

在该经图案化的第一金属层及该经图案化的第二金属层上形成经图案化的第三金属层，从而通过开口曝露出该经图案化的第一金属层的部分；以及

通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层以及该金属层的部分。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包含：

在该经图案化的第一金属层及该经图案化的第二金属层上形成金属层；

在该金属层内对应于该经图案化的第二金属层的位置处形成经图案化的第四金属层；以及

对该金属层进行图案化及蚀刻处理，以形成该经图案化的第三金属层。

3.根据权利要求1所述的方法，进一步包含形成经图案化的金属层以填充上述这些开口。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包含以实质上相同的材料，形成该经图案化的第二金属层及该经图案化的第三金属层。

5.根据权利要求2所述的方法，进一步包含以实质上相同的材料，形成该金属层、该经图案化的第二金属层及该经图案化的第三金属层。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包含以自Ti、Cu、Ni、NiCo、NiFe及NiMn等其中之一中所选出的材料，在该绝缘层上形成金属层。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包含：

通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层以及该金属层的部分，从而曝露出该绝缘层的部分；以及

移除该绝缘层的上述这些部分。

8.一种用以制造电容式超音波换能装置的方法，其特征是包含：

提供基板；

在该基板上形成绝缘层；

在该绝缘层上形成经图案化的第一金属层；

在该经图案化的第一金属层上形成第二金属层；

将该第二金属层图案化，以通过开口曝露出该经图案化的第一金属层的部分；以及

通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层。

9.根据权利要求8所述的方法，进一步包含：

在该绝缘层上形成经图案化的光刻胶层；以及

形成经图案化的第一金属层，其与该经图案化的光刻胶层实质上共平面。

10.根据权利要求8所述的方法，进一步包含：

通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层，从而曝露出该绝缘层的部分；以及

移除该绝缘层的上述这些部分。

11.根据权利要求8所述的方法，进一步包含：

在该第二金属层上形成第三金属层；以及

将该第三金属层图案化以在该第二金属层上形成凸块。

12.根据权利要求8所述的方法，进一步包含形成经图案化的金属层以填充上述这些开口。

13.根据权利要求8所述的方法，进一步包含：

在该绝缘层上形成第四金属层；以及

在该第四金属层上形成该经图案化的光刻胶层。

14.根据权利要求11所述的方法，进一步包含以实质上相同的材料，形成该第二金属层及该第三金属层。

15.根据权利要求13所述的方法，进一步包含以实质上相同的材料，形成该第二金属层及该第四金属层。

16.一种用以制造电容式超音波换能装置的方法，其特征是包含：

提供基板；

在该基板上形成绝缘层；

在该绝缘层上形成经图案化的第一金属层；

形成经图案化的第二金属层，其与该经图案化的第一金属层实质上共平面；

在该经图案化的第一金属层及该经图案化的第二金属层上形成经图案化的第三金属层，从而通过开口曝露出经图案化的第一金属层的部分；以及

通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层。