[发明专利]双环结构微纳生物传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种双环结构的微纳生物传感器，包括：

一SOI基片，该SOI基片的顶层为顶层硅；

一双环结构，该双环结构形成于SOI基片的顶层硅上；

一输入波导和一输出波导，该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧，并形成于SOI基片的顶层硅上；

一U型微流通道，该U型微流通道扣置键合在双环结构上。

2.根据权利要求1所述的双环结构的微纳生物传感器，其中所述的双环结构包括一大环和位于大环内一侧的小环。

3.根据权利要求2所述的双环结构的微纳生物传感器，其中所述的位于大环内的小环是位于输入波导和输出波导的中间。

4.根据权利要求2所述的双环结构的微纳生物传感器，其中所述的该输入波导和输出波导与大环之间有一间隙。

5.根据权利要求2所述的双环结构的微纳生物传感器，其中所述的大环小环之间有一间隙。

6.根据权利要求1所述的双环结构的微纳生物传感器，其中所述双环结构、输入波导和输出波导是采用条形波导结构。

7.一种双环结构的微纳生物传感器的制作方法，包括如下步骤：

步骤1：在SOI基片的顶层硅上旋涂光刻胶；

步骤2：通过深紫外曝光或电子束曝光进行波导图形定义；

步骤3：显影定影后通过ICP等离子体刻蚀技术在SOI基片的顶层硅上刻蚀出双环结构、输入波导和输出波导的传感器芯片；

步骤4：对传感器芯片解离抛光露出波导端面；

步骤5：将一制作好的U型微流通道扣置键合在双环结构上，该U型微流通道与输入波导和输出波导的方向垂直，完成微纳生物传感器的制作。

8.根据权利要求7所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的光刻胶为PMMA。

9.根据权利要求7所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的输入波导和输出波导位于双环结构的两侧。

10.根据权利要求7所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的U型微流通道键合在双环结构上的步骤：

1)对U型微流通道和双环结构的表面进行氧等离子体处理；

2)将U型微流通道与双环结构对准、键合。

11.根据权利10所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的对准、键合在30秒内。

12.根据权利7所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的双环结构包括一大环和位于大环内一侧的小环。

13.根据权利要求8所述的双环结构的微纳生物传感器的制作方法，其中所述的双环结构中的小环位于大环内的一侧，并位于输入波导和输出波导的中间，该小环、大环之间有一间隙，该输入波导和输出波导与大环之间有一间隙。