[发明专利]采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器及其温度控制方法

权利要求书

1.采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，包括：

红外激光器IR、IR温度传感器、IR温度闭环控制电路、用于调整IR波长的TEC1、IR光功率闭环控制电路、激光晶体、激光晶体温度传感器、激光晶体温度闭环控制电路、用于控制激光晶体温度的TEC2、绿光光强传感器以及TEC1和TEC2热沉。

2.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，所述IR温度闭环控制电路调整TEC1的工作电流，控制IR工作温度。

3.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，所述激光晶体温度闭环控制电路调整TEC2的工作电流，控制激光晶体的工作温度。

4.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于绿光光强传感器的输出作为IR光功率闭环控制电路的输入，通过调整IR的工作电流控制IR的输出功率。

5.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，所述IR温度闭环控制电路、激光晶体温度闭环控制电路和IR光功率闭环控制电路可与应用系统中其它电路合并。

6.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，所述激光晶体为ND:YVO₄与PPLN胶合晶体或ND:YVO₄与KTP胶合晶体。

7.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，所述红外激光器IR、激光晶体分别固定在TEC1、TEC2上。

8.根据权利要求1所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于所述激光器可放置于一个导热箱体内，导热箱体同时具有散热作用。

9.根据权利要求1或8所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器，其特征在于，TEC1、TEC2的热沉置于一个平面上或“L”型面上，所述平面或“L”型面可以是所述激光器的导热箱体的底面和两侧面。

10.采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器的温度控制方法，其特征在于，包含：

（1） IR温度闭环控制电路调整TEC1的工作电流，控制IR工作温度的实现方式为：

调试标定阶段，用光谱仪监测IR波长，通过IR温度控制电路调整TEC1的工作电流以调整IR工作温度，直至IR输出波长满足激光晶体对IR吸收波长的要求，记录此时的IR温度传感器输出值作为IR温度闭环控制电路的设置值；实际工作阶段，通过IR温度控制电路调整TEC1的工作电流以调整红外激光器IR工作温度并锁定于此设置值，此时IR的波长即为所需波长；

或在调试标定阶段，先锁定激光晶体温度和红外激光器IR工作电流、调整红外激光器IR与激光晶体的相对位置并直到有绿光输出，然后通过IR温度闭环控制电路调整TEC1的工作电流对IR工作温度进行扫描，同时通过绿光光强传感器或光功率计监测绿光功率并被IR温度闭环控制电路获取，IR温度闭环控制电路自动保存绿光功率最大时的红外激光器IR工作温度作为设置值；实际工作阶段IR温度控制电路调整TEC1的工作电流以调整红外激光器IR工作温度并锁定于此设置值；

（2） 激光晶体温度闭环控制电路调整TEC2的工作电流，控制激光晶体的工作温度的实现方式为：

先测试出激光晶体最佳工作温度作为激光晶体温度闭环控制电路的设置温度，通过激光晶体温度闭环控制电路调整TEC2的工作电流，使得激光晶体锁定在最佳工作温度状态；

或在完成（1）中对IR工作温度和工作电流锁定的基础上，通过激光晶体温度闭环控制电路调整TEC2的工作电流对激光晶体工作温度进行扫描，同时通过绿光光强传感器或光功率计监测绿光功率并被激光晶体温度闭环控制电路获取，激光晶体温度闭环控制电路自动保存绿光功率最大时的激光晶体工作温度作为设置值；实际工作阶段激光晶体温度控制电路调整TEC2的工作电流以调整激光晶体工作温度并锁定于此设置值。

11.根据权利要求10所述的采用双TEC的LD泵浦绿光固体激光器的温度控制方法，其特征在于所述步骤（1）和步骤（2）不限定顺序。