[发明专利]聚合物光波导的制法无效
| 申请号： | 201110100967.3 | 申请日： | 2011-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102236125A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 小河睦 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 波导 制法 | ||
【权利要求书】：
1.聚合物光波导的制法，其特征在于，所述制法包括：
工序(a)，在基板上形成下包层；
工序(b)，在所述下包层上形成传输光的芯；
工序(c)，以覆盖所述芯的方式形成外包层；
其中，所述工序(b)包括：
工序(b-1)，在所述下包层的表面涂布芯形成用树脂组合物，所述芯形成用树脂组合物包含通过光引发阳离子聚合反应而固化的类型的感光性树脂和溶剂；
工序(b-2)，将所述芯形成用树脂组合物加热，使所述芯形成用树脂组合物中的所述溶剂挥发；
工序(b-3)，控制所述工序(b-2)中的加热条件，将所述芯形成用树脂组合物中的残留溶剂浓度调整至1wt％以下；
工序(b-4)，隔着光掩模对所述工序(b-2)后的芯形成用树脂组合物的层照射照射线来曝光，并显影而形成规定图案的所述芯。
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