[发明专利]一种粉体材料低温等离子体表面处理方法及其装置

权利要求书

1.一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述方法步骤为：将粉体材料装入流化床内进行表面处理，流化床内抽真空，并且同时在流化床底部定量通入反应气体，通过施加电场在流化床内产生辉光放电等离子体。

2.根据权利要求1所述的一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述粉体材料加入到流化床内后，抽真空到预定真空度，此时在流化床底部通入反应气体。

3.根据权利要求1或2所述的一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述粉体在气流的作用下呈流化状态，此时向流化床内施加电场，产生辉光放电，流化床粉体物料表面轮番暴露于低温等离子体氛围中，从而使粉体表面的各个部位均得到充分处理。

4.一种粉体材料低温等离子体表面处理装置，其特征在于，所述装置包括电极、流化床、流量调节器、气瓶、等离子体电源发生器、粒子过滤阱以及真空泵。