[发明专利]激光器腔镜夹持机构、激光器谐振腔及激光器

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光器，尤其涉及一种可广泛应用于工业领域中加工应用的全固态激光器。

背景技术

近几年，随着工业加工应用的激光器不断开发，激光器在工业加工应用中越来越广泛，如激光打标、激光调阻、激光太阳能电池划膜、激光打孔、激光液晶修复等等，这一系列的应用都对激光器功率的稳定性有着严格的要求。因此在满足应用要求的前提下，将激光器做到稳定输出是激光器设计者们的终极目的。

激光器通常包括激励源和谐振腔。为了达到激光器稳定输出的目的，通常采用增加包装安全性、激光器壳体多次应力释放、高稳定性调整架等措施。这些措施往往能够从一定程度上改善激光器功率的稳定性，但不能完全达到激光器的稳定输出目标，且额外成本较高。这对市场经济条件下的制造厂商十分不利。

激光器谐振腔的稳定性一直是工业应用激光器的难点，尤其在运输、机床振动、激光器壳体应力变化以及调整架自身稳定性不够的条件下，经常导致激光器失谐，严重影响激光功率的输出。

此外，另有2004年2月25日公告的中国发明专利ZL99105276.5是从光学方面考虑的光学镇定器方案，也仅仅是针对激励源泵浦的功率出现大幅度变化时维持激光稳定输出，对谐振腔的机械稳定性未提明显改善，不能解决外力影响导致的激光器功率稳定性不好。

鉴于此，有必要提供一种新的具有改进的谐振腔和具有改进的谐振腔的激光器。

发明内容

本发明旨在提供一种低成本、便于实现、能保证激光器功率稳定性激光器腔镜夹持结构、应用改夹持结构的谐振腔及激光器。

本发明一种激光器谐振腔包括两侧面夹角呈90°的第一夹持结构、固定在两侧面上的反射镜、与第一夹持结构相对设置的第二夹持结构，以及固定在第二夹持结构上的全反镜和基频光部分输出镜；第一夹持结构包括位于两反射镜之间的第一通光孔和与第一通光孔垂直相通并朝向第二夹持结构开设的两第二通光孔；第二夹持结构包括至少一个与第二通光孔对应且通向谐振腔外的第三通光孔，全反镜和基频光部分输出镜位于相同或相平行的平面上且二者均与第一通光孔平行；所述基频光部分输出镜安装在第三通光孔入口处。

本发明激光器谐振腔包括两侧面夹角呈90°的第一夹持结构、固定在两侧面上的反射镜、与第一夹持结构相对设置的第二夹持结构，以及固定在第二夹持结构上的全反镜和基频光部分输出镜；第一夹持结构包括位于两反射镜之间的第一通光孔和与第一通光孔垂直相通并朝向第二夹持结构开设的两第二通光孔；第二夹持结构包括至少一个与第二通光孔对应且通向谐振腔外的第三通光孔，全反镜和基频光部分输出镜位于相同或相平行的平面上且二者均与第一通光孔平行；所述基频光部分输出镜安装在第三通光孔入口处。

本发明激光器包括激励源、谐振腔，工作介质，所述谐振腔包括两侧面夹角呈90°的第一夹持结构、固定在两侧面上的反射镜、与第一夹持结构相对设置的第二夹持结构，以及固定在第二夹持结构上的全反镜和基频光部分输出镜；第一夹持结构包括位于两反射镜之间的第一通光孔和与第一通光孔垂直相通并朝向第二夹持结构开设的两第二通光孔；第二夹持结构包括至少一个与第一通光孔对应且通向谐振腔外的第三通光孔，全反镜和基频光部分输出镜位于相同或相平行的平面上且二者均与第一通光孔平行；至少基频光部分输出镜安装在第三通光孔入口处。

与现有技术相比，本发明采用两侧面夹角呈90°的第一夹持结构在侧面上分别固定两反射镜、第二夹持结构固定全反镜和与全反镜平行或在一个平面上设置的基频光部分输出镜构成的谐振腔，设计结构简单，成本较低，便于实现，而且在第一夹持结构或第二夹持结构有轻微倾斜变化时，根据光线传输原理，仍能形成谐振结构，不会影响谐振腔的稳定输出。

附图说明

图1是本发明激光器的第一实施例示意图；

图2是图1所示激光器使用过程中的抗失谐示意图；

图3是本发明激光器的第二实施例示意图；

图4是本发明激光器的第三实施例示意图；

图5是本发明激光器的第四实施例示意图；

图6是本发明激光器的第五实施例示意图；

图7是本发明激光器的第六实施例示意图；

图8是本发明激光器的第七实施例示意图。

具体实施方式

下面请参附图对本发明具有改进的谐振腔的激光器的各种优选方式作出详尽的说明。激光器通常包括激励源、谐振腔、工作介质三部分。