[发明专利]压电致动器

权利要求书

1.一种压电致动器，该压电致动器包括：

压电薄板；

第一电极图案，形成在所述压电薄板的一个表面的一部分上；

第二电极图案，形成在所述压电薄板的所述一个表面的另一部分上，从而所述第二电极图案与所述第一电极图案电隔离；

电极部分，形成在所述压电薄板的另一个表面上；以及

摩擦件，形成在所述压电薄板的所述一个表面上以从所述压电薄板突出。

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述电极部分包括形成在所述压电薄板的所述另一个表面上的对应于所述第一电极图案的第一电极部分，和形成在所述电极薄板的所述另一个表面上的对应于所述第二电极图案的第二电极部分，从而所述第二电极部分与所述第一电极部分电隔离。

3.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述压电薄板是通过层压多个压电薄板单元而形成的压电层压体。

4.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述压电薄板通过施加具有180度的相位差的电压到所述第一电极图案和所述第二电极图案而被振动；以及

所述摩擦件通过所述压电薄板的振动在平面上进行线性平移运动。

5.根据权利要求2所述的压电致动器，其中将具有相同相位的电压施加到所述第一电极图案和所述第二电极部分，并且将具有相同相位的电压施加到所述第二电极图案和所述第一电极部分；以及

施加到所述第一电极图案和所述第二电极部分的电压与施加到所述第二电极图案和所述第一电极部分的电压具有180度的相位差；

所述压电薄板通过电压的施加被振动；以及

所述摩擦件通过所述压电薄板的振动在平面上进行线性平移运动。

6.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述压电薄板具有其中凹陷的凹槽部分，并且所述摩擦件的一部分被插入到所述凹槽部分中。

7.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述摩擦件被形成在所述第一电极图案与所述第二电极图案之间，并且所述摩擦件具有圆形形状或正方形形状的横截面。

8.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述摩擦件由Al₂O₃或ZrO₂陶瓷材料、基于碳化钨的硬金属、工具钢或高速钢制成。

9.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述第一电极图案和所述第二电极图案相对于所述压电薄板的中心点对称。

10.根据权利要求1所述的压电致动器，其中所述第一电极图案和所述第二电极图案具有正方形形状、三角形形状或半圆形形状。

11.一种压电致动器，该压电致动器包括：

第一压电薄板；

形成在所述第一压电薄板的一个表面的一部分上的第一电极图案，以及形成在所述第一压电薄板的所述一个表面的另一部分上的第二电极图案，从而所述第二电极图案与所述第一电极图案电隔离；

接地电极，形成在所述第一压电薄板的另一个表面上；

第二压电薄板，形成在所述第一压电薄板的下面，所述接地电极形成在该第二压电薄板上；

形成在所述第二电极薄板的下表面的一部分上的第三电极图案，以及形成在所述第二电极薄板的所述下表面的另一部分上的第四电极图案，从而所述第四电极图案与所述第三电极图案电隔离；以及

摩擦件，形成在所述第一压电薄板的所述一个表面上。

12.根据权利要求11所述的压电致动器，其中所述第三电极图案和所述第四电极图案被形成在所述第二电极薄板上，以基于所述第一电极图案和所述第二电极图案以90度的角度彼此十字交叉。

13.根据权利要求12所述的压电致动器，其中通过将具有180度的相位差的电压仅施加到所述第一电极图案和所述第二电极图案以允许所述第一压电薄板和所述第二压电薄板在所述平面上以所述第一方向进行平移运动，以及将具有180度的相位差的电压仅施加到所述第三电极图案和所述第四电极图案以允许所述第一压电薄板和所述第二压电薄板在所述平面上以所述第二方向进行平移运动，使得所述第一压电薄板和所述第二压电薄板一体地以所述第一方向或所述第二方向被振动。

14.根据权利要求11所述的压电致动器，其中所述第一压电薄板具有其中凹陷的凹槽部分，并且所述摩擦件的一部分被插入到所述凹槽部分中。