[发明专利]用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法

权利要求书

1.一种用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：按重量份包括下列组分：螯合剂0.1-5、pH值调节剂5-15、悬浮剂0.2-5、分散稳定剂0.5-10、润滑剂5-20、防锈剂0.5-5、防腐杀菌剂0-2、消泡剂0-2和补足100份总量余量的去离子水。

2.根据权利要求1所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：按重量份包括下列组分：螯合剂0.5、pH值调节剂12、悬浮剂0.2、分散稳定剂2.2、润滑剂13、防锈剂2、防腐杀菌剂0.2、消泡剂0.2和去离子水69.7。

3.根据权利要求2所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述螯合剂为EDTA、EDTA二钠、聚天冬胺酸钠盐、聚环氧琥珀酸钠盐、乙二胺四甲叉磷酸盐、柠檬酸钠和羟基乙酸盐等中的一种或两种以上的混合物。

4.根据权利要求3所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述pH值调节剂为三乙醇胺、二乙烯三胺、四甲基氢氧化胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇胺、异丙醇胺、三异丙醇胺、羟乙基乙二胺、乙二胺和二乙胺等中的一种或两种以上的混合物。

5.根据权利要求4所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述悬浮剂为羧甲基纤维素、羟乙基纤维素、聚丙烯酸、葡萄糖酸盐、低分子量聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、明胶、椰子油酸乙醇酰胺和水溶性聚醚中的一种或两种以上组成的混合物。

6.根据权利要求5所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述润滑剂为油酸、妥尔油、太古油、己二酸、二聚酸、硼酸、磷酸三乙酯、醇醚磷酸单酯乙醇胺盐、聚乙二醇和丙三醇中的一种或两种以上的混合物。

7.根据权利要求6所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述分散稳定剂为六偏磷酸钠、羟基亚乙基二膦酸、氨基三甲叉膦酸、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、乙二醇、聚马来酸、马来酸-丙烯酸共聚物、多元醇磷酸酯和聚氧乙烯基醇醚中的一种或两种以上组成的混合物。

8.根据权利要求7所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：所述防锈剂为苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、癸二酸、烯基丁二酸、十二酸、正辛酸和异辛酸等中的一种或两种以上的混合物；所述防腐杀菌剂为氯化钠、苯甲酸钠、碳酸钠、乌洛托品、肌氨酸钠、三丹油和山梨酸等中的一种或两种以上的混合物；所述消泡剂为有机硅类消泡剂。

9.一种权利要求1所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液的使用方法，其特征在于：将研磨液与水按比例1∶1～20稀释后，与磨料混合使用，稀释液与磨料按照重量比例50～500∶1调配使用。

10.根据权利要求9所述的用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液的使用方法，其特征在于：将研磨液与水按比例1∶10稀释后，与磨料混合使用，稀释液与磨料按照重量比例200∶1调配使用。