[发明专利]用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪

权利要求书

1.一种用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，其特征在于，包括干涉仪本体[1]、第一水平导轨[4]、第二水平导轨[3]、第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]、第一配重块滑轨[6]、第二配重块滑轨[15]、水平移动部件[16]、第一反射镜[8]、第二反射镜[11]、第三反射镜[20]、干涉仪框架[9]、水平精密定位装置[10]、垂直移动部件[12]、配重块[13]、垂直精密定位装置[24]、参考平晶[26]；

干涉仪本体[1]固定于干涉仪框架[9]顶部，第一反射镜[8]位于干涉仪本体[1]的出光口，干涉仪框架[9]内部设置第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]，垂直移动部件[12]通过滑块在第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]上移动，上述垂直移动部件[12]在垂直精密定位装置[24]的带动下移动，该垂直精密定位装置[24]固定在干涉仪框架[9]上，干涉仪框架[9]背部设有配重块[13]，其重量与垂直移动部件[12]相当，该配重块[13]通过干涉仪框架[9]顶部的定滑轮与垂直移动部件[12]相连接，第一配重块导轨[6]和第二配重块导轨[15]分别位于第一垂直导轨[5]和第二垂直导轨[14]两侧，配重块[13]可在配重块导轨上滑动；

垂直移动部件[12]内部设置第二反射镜[11]、水平移动部件[16]、第一水平导轨[4]和第二水平导轨[3]，水平移动部件[16]通过滑块在两个水平导轨上移动，所述水平移动部件[16]在水平精密定位装置[10]的带动下移动，该水平精密定位装置[10]固定在垂直移动部件[12]上；水平移动部件[16]内部设置第三反射镜[20]和参考平晶[26]，参考平晶[26]由二维架定板[18]和二维架动板[19]固定在水平移动部件上，二维架动板[19]在二维精密调整架[17]的带动下对参考平晶[26]进行调整；

干涉仪本体[1]的出射光通过第一反射镜[8]传入垂直移动部件[12]中的第二反射镜[11]，通过第二反射镜再次反射，进入水平移动部件[16]，经水平移动部件[16]中第三反射镜[20]引导透过参考平晶[26]射向被测表面，由参考平晶[26]与被测表面构成菲索干涉腔，进行测量。

2.根据权利要求1所述的用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，其特征在于，还包括垂直锁紧部件[23]和水平锁紧部件[25]，所述垂直锁紧部件[23]位于垂直移动部件[12]底部，将垂直移动部件[12]锁紧在第一垂直导轨[5]上，水平锁紧部件[25]位于水平移动部件[16]上，将水平移动部件[16]锁紧在垂直移动部件[12]内。

3.根据权利要求1或2所述的用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，其特征在于，干涉仪框架[9]的底部四角分别设置减震底脚[7]。

4.根据权利要求1或2所述的用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，其特征在于，干涉仪框架[9]的顶部四角分别设置吊环螺钉[2]。