[发明专利]太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法

权利要求书

1.一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，包括硅片输运带和成像系统，其特征在于：还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置。

2.根据权利要求1所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，其特征在于：所述同步装置包括将抽样硅片从硅片输送带上移出的移出装置。

3.根据权利要求2所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，其特征在于：所述移出装置为硅片托起机构。

4.根据权利要求3所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，其特征在于：还包括使硅片托起机构上抽样硅片在输送带运动方向移动的输运装置。

5.根据权利要求2所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，其特征在于：所述硅片输运带分隔成在一条直线上的至少两套输送带，两套输送带之间设有一转盘，该转盘上设置两套平行的转盘输送带，该两套转盘输送带均可转至上述硅片输送带的两套输送带之间，该成像系统设于和上述硅片输送带的两套输送带不在一条直线上的转盘输送带上方。

6.根据权利要求1所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，其特征在于：所述同步装置包括控制成像系统在硅片输送带方向左右移动的装置。

7.根据权利要求2所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统的检测方法，其特征在于：每隔若干硅片，就有至少一个空位不放置硅片，抽样硅片被移出装置移出输送带，成像系统对抽样硅片照明成像，同时，输运带上的硅片继续运动，完成成像后，上述空位到达移出装置位置时，移出装置把在其上的已经完成检测的抽样硅片放回输运带。

8.根据权利要求4所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统的检测方法，其特征在于：所述硅片托起机构将抽样硅片从输运带上提取出来并放置到成像系统下方，成像系统对抽样硅片照明成像，同时，输运带上的硅片继续运动，抽样硅片被提取时，输运带上形成一个空位，抽样硅片完成检测后，所述输运装置以大于输运带的速度，把抽样硅片向输运带运动的方向输运，抽样硅片被放在所述空位上。

9.根据权利要求5所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统的检测方法，其特征在于：输运带上硅片不间断传输，抽样硅片到达转盘下半部时，转盘转动，将抽样硅片转到转盘上半部的检测位置，成像系统对抽样硅片照明成像，完成检测的抽样硅片被转到转盘下半部，完成检测的的抽样硅片和另一片抽样硅片位置对调，成像系统对另一片抽样硅片照明成像，已经完成检测的的抽样硅片随输运带继续自左向右运动。

10.根据权利要求6所述的太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统的检测方法，其特征在于：输运带自左向右不间断运动，抽样硅片到达成像系统初始位置时，成像系统开始向右加速，当成像系统加速到和输运带相同速度后，其和输运带同步运动，并且对抽样硅片进行照明成像，照明成像结束，成像系统向左运动返回初始位置，等待下一片抽样硅片。