[发明专利]嵌入光纤的玻璃板及其制造方法

权利要求书

1.一种嵌入光纤的玻璃板，该玻璃板包括：

一个具有上下两个表面的玻璃板；

至少一根光纤垂直于玻璃板表面嵌入到玻璃板内，所述光纤的至少一端在玻璃板的上表面或下表面暴露出来。

2.根据权利要求1所述的玻璃板，所述光纤的材料是石英或石英玻璃。

3.根据权利要求1所述的玻璃板，所述光纤表面包覆一层金属或金属氧化物材料。

4.根据权利要求1所述的玻璃板，所述玻璃板通过嵌入的光纤与外部器件集成，以实现玻璃板与外部器件的光互连。

5.根据权利要求1所述的玻璃板，所述玻璃板还具有至少一个金属通孔，以实现器件之间的电互连或散热。

6.一种制造嵌入光纤的玻璃板的方法，该方法包括以下步骤：

加热玻璃板的某一微区，使该微区的玻璃软化；

把光纤插入到软化的微区中一定深度；

冷却固化所述软化的微区；

重复前述步骤，直到插入所要求数量的光纤；

减薄并整平玻璃板，使光纤的至少一端在玻璃板的表面暴露出来。

7.根据权利要求6所述的方法，所述减薄并整平玻璃板的步骤包括：

整平玻璃板插入光纤的一面；

减薄并整平玻璃板未插入光纤的另一面，使玻璃板减薄到要求的厚度。

8.根据权利要求6或7所述的方法，所述减薄是通过机械研磨进行的，所述整平是通过机械抛光或化学机械抛光进行的。

9.根据权利要求6所述的方法，还包括在玻璃板上形成至少一个金属通孔的步骤，该金属通孔用于实现器件之间的电互连或散热。

10.根据权利要求6所述的方法，还包括使嵌入的光纤与外部器件集成的步骤，以实现玻璃板与外部器件的光互连。