[发明专利]一种三坐标振镜扫描式激光加工头

权利要求书

1.一种三坐标振镜扫描式激光加工头，包括XY两轴激光振镜系统，其特征在于，它还包括：

用于将该激光加工头安装至多轴联动数控机床的装夹机构；

用于调节XY两轴激光振镜系统Z轴位置的Z轴移动机构；

用于控制Z轴移动机构和XY两轴激光振镜系统运动的控制系统；

所述Z轴移动机构包括一固定部件和一运动部件，装夹机构固定安装在Z轴移动机构的固定部件上，XY两轴激光振镜系统固定安装在Z轴移动机构的运动部件上，XY两轴激光振镜系统的光束出射方向与Z轴移动机构运动部件的运动方向平行，Z轴移动机构和XY两轴激光振镜系统均与控制系统电连接。

2.根据权利要求1所述的三坐标振镜扫描式激光加工头，其特征在于，它还包括一用于测量XY两轴激光振镜系统与加工工件之间Z向间距，并将该Z向间距输出至控制系统的激光位移传感器，该激光位移传感器固定安装在Z轴移动机构的运动部件上，与控制系统电连接。

3.根据权利要求1或2所述的三坐标振镜扫描式激光加工头，其特征在于，所述Z轴移动机构的固定部件为一导轨，运动部件为一滑块，滑块安装在导轨上，并能够沿导轨上下移动。

4.根据权利要求1或2所述的三坐标振镜扫描式激光加工头，其特征在于，激光位移传感器的安装角度使其激光位移测量方向与XY两轴激光振镜系统的光束出射方向平行。

5.根据权利要求1或2所述的三坐标振镜扫描式激光加工头，其特征在于，所述的多轴联动数控机床是三轴或五轴联动数控机床。