[发明专利]测量系统

权利要求书

1.一种测量系统，该测量系统包括：具有处理单元和可移动支承部的坐标测量机；用于相对于基准表面定位所述可移动支承部的一个或更多个致动器，所述可移动支承部具有支承部连接器；扫描探针(120、160)，该扫描探针(120、160)与所述可移动支承部可拆卸地连接，用于测量位于被定位在所述基准表面上的工件的表面上的扫描路径上的点；以及模块化旋转配件(50)，该模块化旋转配件(50)包括：第一连接器(90)，该第一连接器(90)被设置为与所述支承部连接器互操作，用于将所述模块化旋转配件连接到所述可移动支承部；第二连接器(40)，该第二连接器(40)被设置为与探针连接器互操作，用于将所述扫描探针连接到所述模块化旋转配件；以及致动器(58)，该致动器(58)用于使所述第二连接器相对于所述第一连接器旋转，该测量系统的特征在于：所述第一连接器和所述第二连接器包含多个信号连接器(97、47、42)，用于将驱动信号传送到所述模块化旋转配件的所述致动器。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述信号连接器是电信号连接器和/或光信号连接器。

3.根据前述权利要求中的任意一项所述的测量系统，其中，所述模块化旋转配件包括连接到所述第一连接器和所述第二连接器的光纤(151)。

4.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述致动器(58)可驱动以使所述模块化旋转配件以大于360°的角度或者大于720°的角度转动。

5.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述第一连接器和所述第二连接器具有锁定装置(48)。

6.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述第一连接器和所述第二连接器具有定位表面(45)，这些定位表面(45)被设置为确保精确并可重复定位。

7.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述致动器可驱动以使所述模块化旋转配件顺时针和逆时针旋转。

8.根据前述权利要求中的任意一项所述的测量系统，其特征还在于：所述模块化旋转单元被配重。

9.根据前述权利要求中的任意一项所述的测量系统，其特征还在于：所述模块化旋转单元包含信号处理单元以驱动电动机、通过角度编码器测量角度、以及将数据发送到所述处理单元。

10.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述扫描探针被设置为使得所述测量点不处于所述旋转单元的旋转轴线上。

11.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述扫描探针包括LVDT换能器以通过线性偏移或者角度偏移来测量点变化。

12.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述扫描探针包括光学非接触距离换能器。

13.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述扫描探针包括至少一个铰链，所述至少一个铰链允许在非预知的碰撞的情况下倾斜所述探针的一部分。

14.根据权利要求1所述的测量系统，其中，所述扫描探针和所述模块化旋转配件被设置为通过在被测量点周围的运动的组合来确定工件的表面取向。