[发明专利]复匹配型铜缓蚀剂的制备及表面处理方法

权利要求书

1.一种复匹配型铜缓蚀剂，其特征在于，其组分及含量为：苯并三氮唑：4-16g/L、2-疏基苯并噻唑：4-20g/L、混合稀土盐：2-8g/L、壬基酚聚氧乙烯醚：1-3.2g/L、柠檬酸：6-24g/L以及磺基水杨酸4-10g/L，余量为水。

2.根据权利要求1所述的复匹配型铜缓蚀剂，其特征是，所述的混合稀土盐的组分为：氯化铈、氯化镧、氧化钆和氧化镥，其质量百分比为：CeCl₃∶LaCl₃∶Gd₂O₃∶Lu₂O₃＝1∶1∶1∶1或1∶1∶2∶1或1∶1∶3∶1或1∶1∶1∶2。

3.一种根据上述任一权利要求所述的复匹配型铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，通过首先将稀土盐混合物经双氧水溶解后得到混合稀土盐溶液，再用蒸馏水或去离子水分别溶解苯并三氮唑、2-疏基苯并噻唑、柠檬酸和铜络合剂配制出基础溶液，然后再将基础溶液和混合稀土盐溶液混合，最后经搅拌均匀后静置并过滤得到。

4.一种根据上述任一权利要求所述复匹配型铜缓蚀剂的应用方法，其特征在于，首先对铜试样表面进行机械抛光，达到初步抛光效果，再将铜试样表面的油污除去，然后通过酸洗的方法除去铜试样表面的氧化物，再经电化学抛光后将铜试样置于复匹配型铜缓蚀剂中，并保持溶液的温度为50-60℃不变，把铜试样作为阴极，并通以0.5-2.0mA/cm²的电流，5-10分钟后从缓蚀剂中取出，经去离子水冲洗后在空气中自然干燥，实现耐腐蚀处理。

5.根据权利要求4所述的应用方法，其特征是，所述的机械抛光是指：依次采用砂纸打磨和金相砂纸打磨。

6.根据权利要求4所述的应用方法，其特征是，所述的表面除油是指：直接用酒精或丙酮或通过化学除油的方法除去铜试样表面的油污。

7.根据权利要求4所述的应用方法，其特征是，所述的酸洗是指：将铜试样放入配置好的酸洗试剂中，三分钟后取出，该酸洗试剂为体积百分比为15％的H₂SO₄。

8.根据权利要求4所述的应用方法，其特征是，所述的电化学抛光是指：先按以下比例配置抛光试剂：乙醇：70-90mL/L、磷酸：800-1000mL/L、苯并三氮唑：6g/L、乳酸：50-70mL/L以及乙酸铵：3g/L，余量为水；然后将铜试样放入抛光试剂中并保持30-40℃的试剂温度，以铜试样作为阳极通以15-25A/dm²的电流5-10分钟后取出铜试样，经蒸馏水或者去离子水清洗后迅速放入复匹配型铜缓蚀剂中。