[发明专利]清洗药液的前馈温度控制方法

权利要求书

1.一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，其特征在于，所述温度控制方法涉及包括药液存储槽、加热器以及过滤器的化学药液传递系统，所述化学药液传递系统通过工艺清洗供液出口对清洗目标设备进行清洗药液的供给，所述温度控制方法包括如下步骤：

S1：在所述药液存储槽底部位置设置第一温度传感器，并对应设置有前馈控制器；在所述加热器的出口处设置第二温度传感器，并对应设置有串级内环PID控制器；在所述工艺清洗供液出口处设置第三温度传感器，并对应设置有串级外环PID控制器；

S2：预先设定药液存储槽内的存储槽目标温度值以及工艺清洗供液出口处的供液目标温度值；

S3：控制加热器对药液存储槽内的药液进行加热，并使所述第一温度传感器所检测到的存储槽内药液温度达到所述存储槽目标温度值；

S4：当药液存储槽内的药液达到存储槽目标温度值并稳定后，开启工艺清洗供液出口进行清洗药液供给，同时通过所述串级内环PID控制器、串级外环PID控制器以及前馈控制器对加热器的加热功率进行控制使所述第三温度传感器所检测到的供液温度稳定保持为所述预设的供液目标温度值。

2.如权利要求1所述的清洗药液的前馈-串级温度控制方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括如下步骤：

S301：计算所述预设的存储槽目标温度值与所述第一温度传感器所检测到的存储槽内当前药液温度之间的存储槽药液温度偏差值；

S302：将所述存储槽药液温度偏差值输入所述前馈控制器，计算得出第一加热控制信号并输出给加热器；

S303：加热器根据所述第一加热控制信号调整其加热功率；

S304：重复步骤S301-步骤S303，直至所述第一温度传感器所检测到的存储槽内当前药液温度达到所述存储槽目标温度值。

3.如权利要求2所述的清洗药液的前馈-串级温度控制方法，其特征在于，所述步骤S301中，根据下述公式A计算得到存储槽药液温度偏差值；

其中，公式A：

E_tan k＝E_tan k，set-T_tan k，

其中，E_tan k为存储槽药液温度偏差值，T_tan k，set为预设的存储槽目标温度值，T_tan k为第一温度传感器所检测到的存储槽内当前药液温度。

4.如权利要求2所述的清洗药液的前馈-串级温度控制方法，其特征在于，所述步骤S302中，所述前馈控制器根据下述公式B计算得到第一输出值，并将第一输出值转换为4-20mA模拟电流的第一加热控制信号，然后再输出第一加热控制信号给加热器内的可控硅整流器SCR进行加热功率调整；

其中，公式B：

U1=KpEtank+1Ti∫Etankdt+KddEtankdt,]]>

其中，U₁为第一输出值，K_p为比例系数，T_i为积分时间常数，K_d为微分时间常数，E_tan k为存储槽药液温度偏差值，t为时间系数。