[发明专利]气相外延装置和气相外延方法

权利要求书

1.一种气相外延装置，包括反应腔和设于所述反应腔内部的若干反应气体喷淋头、与所述若干反应气体喷淋头位置对应的若干托盘，以及驱动所述托盘的动力轴，其特征在于，所述动力轴包括公转轴和若干自转轴，所述自转轴与所述托盘一一对应；各所述托盘与各所述自转轴连接，或交替地与所述公转轴和各所述自转轴连接。

2.根据权利要求1所述的气相外延装置，其特征在于，还包括与所述公转轴固定连接的分度盘，各所述托盘通过所述分度盘与所述公转轴连接。

3.根据权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述托盘和所述自转轴一者具有卡槽，另一者具有定位键，所述卡槽与所述定位键相互配合或分离。

4.根据权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述分度盘和所述托盘一者具有凹槽，另一者具有固定键，所述固定键与所述凹槽相互配合或分离。

5.根据权利要求1至4任一项所述的气相外延装置，其特征在于，还包括分别环绕各所述反应气体喷淋头的环形气道，该环形气道的进气口与所述反应气体喷淋头的底部位置对应。

6.根据权利要求5所述的气相外延装置，其特征在于，还包括设于所述反应腔外部的第一真空泵，该第一真空泵与所述环形气道的出气口连通。

7.根据权利要求5所述的气相外延装置，其特征在于，各所述反应气体喷淋头均具有独立的气源。

8.根据权利要求7所述的气相外延装置，其特征在于，相邻所述反应气体喷淋头之间设有惰性气体喷淋头。

9.根据权利要求7所述的气相外延装置，其特征在于，所述反应腔包括第一流通口和第二流通口，所述第一连通口为惰性气体入口，所述第二流通口为尾气出口。

10.根据权利要求9所述的气相外延装置，其特征在于，还包括设于所述反应腔外部的第二真空泵，该第二真空泵与所述尾气出口连通。

11.一种气相外延方法，其特征在于，包括以下步骤：

各托盘在与之固定连接的自转轴的驱动下旋转预定时间；

各所述托盘分别与所述自转轴分离，并均与公转轴固定连接；

所述公转轴旋转预定角度，各所述托盘旋转至新位置后与各所述自转轴固定连接。

12.根据权利要求11所述的气相外延方法，其特征在于，还包括在公转轴旋转时，利用惰性气体吹扫各所述托盘。

13.根据权利要求11所述的气相外延方法，其特征在于，还包括向反应腔中充入惰性气体，并将尾气抽出所述反应腔。

14.根据权利要求11所述的气相外延方法，其特征在于，所述托盘外周设有环形气道，且使环形气道的进气口靠近所述托盘的喷淋头末端，并抽出所述环形气道中的气体。