[发明专利]一种偏置漂移主动纠正系统、方法及引线键合机

权利要求书

1.一种偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述系统设置于一引线键合机中，并设置于引线键合头的下方；

所述引线键合机包括：劈刀；以及设置有探测器的成像系统；所述劈刀刀尖在工作时形成金球；

所述偏置漂移主动纠正系统包括：第一准直镜、第二准直镜、分光镜、同轴光发射器以及回反射器；

所述同轴光发射器所发射的同轴光依次经过所述分光镜、第一准直镜，照亮所述金球；

所述金球反射的光线依次经过所述第一准直镜、分光镜、回反射器、第二准直镜，将所述金球的像成像于所述成像系统中所述探测器的靶面上；

所述偏置漂移主动纠正系统还包括：

偏置漂移量获取模块，用于在第一时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第一位置信息，以及在第二时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第二位置信息，将所述第一位置信息与第二位置信息的差值确定为所述劈刀与成像系统之间距离的偏置漂移量；

纠正模块，用于根据所述偏置漂移量获取模块获取的偏置漂移量，纠正引线键合机在焊接时所使用的劈刀与成像系统之间距离参数。

2.根据权利要求1所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，

所述第一准直镜与所述第二准直镜分别设置于所述回反射器锥点两侧，且所述第一准直镜与所述第二准直镜光轴平行；

所述第一准直镜设置于所述劈刀与回反射器之间，且与所述劈刀同轴设置，所述劈刀尖在工作时形成的金球球心处于所述第一准直镜的焦平面上；

所述第二准直镜设置于所述成像系统与回反射器之间，且与所述成像系统同轴设置，所述第二准直镜的焦平面位于所述成像系统的工作面上；

所述分光镜设置于所述第一准直镜与回反射器之间，且所述分光镜的光轴与所述第一准直镜光轴成45°角；

所述同轴光发射器设置于所述第一准直镜与回反射器之间，所述同轴光发射器所发射的同轴光光轴与所述分光镜轴心同心；

所述回反射器的透射面与所述第一准直镜和第二准直镜的光轴垂直，所述回反射器的锥点设置于所述回反射器的入射光束和出射光束光轴连线中心点的延长线上。

3.根据权利要求2所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述第一准直镜和第二准直镜为单透镜或者为透镜组。

4.根据权利要求2所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述分光镜为分光棱镜或分光平片。

5.根据权利要求2所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述同轴光发射器所采用的光源为发光二极管或光纤光源；

所述同轴光发射器所发射的同轴光为可见光，或紫外光，或红外光。

6.根据权利要求2所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述回反射器为中空回反射器或者玻璃回反射器。

7.根据权利要求6所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述回反射器的内表面镀有反射膜。

8.根据权利要求2所述的偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述探测器为位置传感器；或者

所述探测器为电荷耦合器件CCD相机；或者

所述探测器为互补金属氧化物半导体存储器CMOS相机。

9.一种引线键合机，其特征在于，所述引线键合机包括如权利要求1至8任一项所述的偏置漂移主动纠正系统。

10.一种偏置漂移主动纠正方法，其特征在于，所述方法应用所述权利要求1至8任一项所述的偏置漂移主动纠正系统中，或者所述方法应用于所述权利要求9所述的引线键合机中；

所述偏置漂移主动纠正方法包括：

在第一时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第一位置信息，以及在第二时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第二位置信息，将所述第一位置信息与第二位置信息的差值确定为所述劈刀与成像系统之间距离的偏置漂移量；

根据所述偏置漂移量，纠正引线键合机在焊接时所使用的劈刀与成像系统之间距离参数。