[发明专利]小滴单元与衬底处理设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种小滴单元(droplet unit)和一种衬底处理设备，且更明确地说，涉及一种小滴单元和一种衬底处理设备，其防止在注入和排出源材料时形成粒子(particle)。

背景技术

用作显示设备的阴极射线管(cathode ray tube，CRT)相对较大且较重。近来，正在使用例如液晶显示装置(liquid display device，LCD)、等离子体显示面板(plasma display panel，PDP)、以及有机发光装置(organiclight emitting device，OLED)等平面显示面板来置换此种CRT，所述平面显示面板轻便、细长且在功率消耗方面节约。

通过结合一对平面衬底来制造此平面显示面板。举例来说，为了制造液晶显示面板，制造包含薄膜晶体管(thin film transistor)和像素电极(pixelelectrode)的下部衬底，以及包含彩色滤光片(color filter)和共同电极(common electrode)的上部衬底。然后，将液晶材料滴在下部衬底上，且结合并密封上部和下部衬底，以制造液晶显示面板。

在这点上，使用液晶衬底处理设备来将液晶材料滴在衬底上。此液晶衬底处理设备包含放置着衬底的平台(stage)，安置在平台上方的台架(gantry)，固定到台架且彼此隔开并在排列方向上排列的小滴单元(dropletunit)，水平移动小滴单元的小滴单元移动部件(member)，以及安置在平台上以水平移动台架的台架移动部件。小滴单元中的每一者包含储存液晶材料的液晶储存器(storage)，容纳预定量的液晶材料的注射器(syringe)，在注射器内往复以将液晶材料供应到注射器中或将液晶材料从注射器排出的注射器杆(syringe rod)，接收来自注射器的液晶材料并将液晶材料排出在衬底上的喷嘴(nozzle)，以及控制第一到第三管(tube)的打开和关闭的阀(valve)。第一管将液晶储存器连接到阀，且第二管将注射器连接到阀，且第三管将阀连接到喷嘴。即，阀连接到第一到第三管中每一者的一端，以控制第一到第三管之间的连通。因此，将安置在注射器中的注射器杆移动到喷嘴的相反侧，且阀打开第一和第二管以将来自容器的液晶材料供应到注射器。此外，将注射器移动到喷嘴，且阀打开第三管以将来自注射器的液晶材料供应到喷嘴并将液晶材料排出在衬底上。

如此，为了将液晶材料供应到注射器内或将液晶材料从注射器中排出，注射器杆在注射器内往复。当注射器杆在注射器内往复时，注射器杆接触注射器的内壁。因此，内壁与注射器杆之间的摩擦致使形成粒子。此外，在粒子与液晶材料混合时，污染了液晶材料，此举可造成装置的缺陷。

阀可为电子阀，所述电子阀使用电信号以控制第一到第三管之间的连通。此电子阀可具有频繁的信号误差。因此，在阀打开第一与第二管以将液晶材料注入到注射器中时，信号误差可致使第三管被打开，且因此造成泄漏。因此，可能难以将液晶材料注入到注射器中。此外，在打开第三管以将来自注射器的液晶材料供应到喷嘴时，信号误差可致使第一与第二管被打开，且因此造成泄漏。因此，可能难以将来自注射器的液晶材料供应到喷嘴。因此，可在将液晶材料滴在衬底上的过程中产生产品的缺陷，或者可延迟处理时间。

发明内容

本发明提供一种小滴单元和一种衬底处理设备，其防止在注入和排出源材料时归因于粒子的源材料的污染。

根据示范性实施例，小滴单元包含：抽吸部分，其包括具有容纳源材料的抽吸空间的主体，以及覆盖抽吸空间的侧部分的压力调整膜，压力调整膜经配置以弹性地变形；注入部分，其连接到抽吸空间以将源材料注入到抽吸空间；排出部分，其连接到抽吸空间以将源材料从抽吸空间排出；第一阀，其具有连接到注入部分的一端，第一阀的连通是根据抽吸部分的压力调整膜的弹性变形方向来控制；以及第二阀，其具有连接到排出部分的一端，第二阀的连通是根据抽吸部分的压力调整膜的弹性变形方向来控制。

在压力调整膜弹性地变形时，可打开第一与第二阀中的一者，并可关闭另一者。

小滴单元可包含操作部分，所述操作部分连接到压力调整膜，以将压力调整膜弹性地变形到抽吸空间或到与抽吸空间相对的侧。

抽吸部分可包含固定部分，所述固定部分安置于压力调整膜上方，以将压力调整膜固定到主体。

固定部分可在至少一个部分中具有通孔，且可将操作部分的一个部分嵌入至通孔中。